中古 ULVAC UNA-2000N #9055149 を販売中

ULVAC UNA-2000Nは、多くの産業用途向けに設計された精密ドライエッチャー/アッシャーです。高精度なフォーカシングレンズと高速多段薄膜マスクステージを搭載。厚さ2ミクロンまでの単層膜、厚さ10ミクロンまでの多層膜をエッチングすることができます。その幅広い動作パラメータにより、正確で反復可能な低コストのエッチング処理が可能です。UNA-2000Nには2000-Watt RF電源を搭載しており、エッチング工程で高いエッチング率と優れた精度を得ることができます。また、頻繁に調整可能なラスターサイズを備えており、エッチングジョブのさまざまなサイズに設定することができます。また、低温プラズマチャンバーと低圧動作により、粒子発生やフィルム汚染を最小限に抑えます。ULVAC UNA-2000Nは、600°Cの上限温度を有し、ガラス、セラミック、サーメット、カーボン、ポリマーなどの熱感受性材料に適しています。そのフォトレジスト除去およびin-situ洗浄機能は、最も複雑なエッチング処理に最適です。さらに、ガスシステムを内蔵することで、多種多様なガスを可能にし、エッチングの柔軟性を高めます。UNA-2000Nは信頼できる性能および長期耐久性のための安全特徴の範囲が装備されています。その動的温度制御システムは、一貫した温度とともに均一な熱の分布を保証し、チャンバー保護シャッターは、チャンバーへの汚染を防ぎます。さらに、内蔵モニターはプロセスデータとシステムアラームの正確な監視を提供し、エッチング処理中の予期しない発生を防ぎます。この精密エッチャー/アッシャーは、半導体デバイス処理、ウェハレベルのパッケージング、マイクロコンポーネントエッチングなど、幅広い産業用途に適しています。その先進的な機能と卓越したパフォーマンスにより、クリーンルーム環境に最適です。ULVAC UNA-2000Nは、さまざまな産業環境で精密なエッチングとアッシングに最適です。