中古 ULVAC UNA-2000 #9055148 を販売中

ULVAC UNA-2000は、薄膜の成膜およびエッチング用に設計された高効率プラズマエッチング装置です。この機械は、金属、ポリマー、セラミックスなど、さまざまな材料で高解像度と精度を提供するさまざまな機能を備えています。UNA-2000には2つの独立したプロセスチャンバー、高精度の電動ウェーハ位置決め装置、および基板サイズの容易な変化を可能にする調整可能なサポート構造があります。アルバックUNA-2000は、不活性ガス混合物を有する真空チャンバーを使用して、薄膜材料を均等かつ正確に沈殿およびエッチングします。高真空の環境は、酸素を含まないクリーンな雰囲気を維持するのに役立ち、サンプル材料を破壊することなくプラズマをエッチングすることができます。2つの別々のプロセスチャンバーにより、2つの異なる基板を同時に処理することもできます。機械のウェーハ位置決めシステムには高精度のモーターユニットが搭載されており、正確なビームステアリングと正確なウェーハ位置決めが可能です。また、ユーザーがエッチング処理をカスタマイズできるさまざまなモーションオプションが組み込まれています。調整可能なサポート構造を使用して基板のサイズを簡単に調整でき、さまざまな基板サイズと互換性があります。UNA-2000は、基板表面から材料を除去するためにソースのプラズマを使用し、それは一貫したガスの流れを提供する供給ガスラインと一緒に使用するように設計されています。調整可能な送りガス圧力を使用してエッチングプロセスを正確に制御することができ、高純度のアルゴンガス供給は一貫したガスの流れを確保するのに役立ちます。ULVAC UNA-2000は信頼性が高く正確なプラズマエッチャーであり、幅広い材料で優れたエッチング結果を提供します。このデバイスは、バッチ操作とバッチレス操作の両方にも適しているため、あらゆるエッチングアプリケーションに最適です。この機械は、最高のエッチング品質仕様を満たすように設計されており、内蔵の高解像度プラズマ測定機は精度と再現性を保証します。