中古 ULVAC UNA-2000 #293616239 を販売中

ULVAC UNA-2000はケミカルエッチャーとアッシャーで、さまざまな用途に適しています。これは、ワークショップや生産環境で小型から中型の基板を扱うために設計されています。UNA-2000は、シリコンウェーハ、ガラス、サファイア、石英、金属など、さまざまな基板をエッチングする機能を含む多くの機能と機能を提供します。4チャンバー装置を備えており、デュアルエッチングおよび灰プロセス、および前処理および後処理のためのチャンバー、および絶縁チャンバーを提供します。この絶縁チャンバは、エッチングおよびアッシング工程で使用される化学処理剤（CPA）を他のチャンバから遠ざけ、デバイスの耐久性を劇的に向上させ、システムの可用性を向上させるのに役立ちます。ULVAC UNA-2000はモジュラー設計を特徴とし、容易な組み立ておよび維持を可能にします。9ゾーンプロセス温度制御ユニットと高速・高精度エッチングが可能なノズルを備えています。また、基板上の残留不純物を制御するための前処理室を備えており、より高い収率とエッチング品質を提供します。UNA-2000はさらに、完全に自動化されたタッチパネルディスプレイを備えており、使いやすいメニュー駆動のユーザーインターフェイスを提供します。プログラマブルコントロールパラメータをカスタマイズしてレシピを処理でき、後でメモリから保存してリコールすることができます。ULVAC UNA-2000のパッシベーションチャンバーを真空ラインに接続することで、ドライレジストフィルムの除去と洗浄が可能です。チャンバーには、内蔵CPAを避難させるための排気ポートも取り付けられています。UNA-2000は効果的で適応可能なエッチャー/アッシャー機械で、幅広い用途に適しています。そのモジュラー設計は取付け、維持および操作を便利にさせます。精密なプロセス温度制御、高精度ノズル、自動化されたメニュー駆動のユーザーインターフェイスにより、正確で一貫したエッチングとアッシングの結果が保証されます。耐久性を高め、プロセス精度を向上させるために、ULVAC UNA-2000絶縁チャンバー、パッシベーションチャンバー、排気ポートを備えているため、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。