中古 ULVAC TDE 300M Custom #9186778 を販売中
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ID: 9186778
ヴィンテージ: 2007
3D Plasma etcher
Substrate load station and carrier:
Wafer substrate cassette
(9) Tubular substrates (Φ1.25mm x 8.5")
Parallel fixed spacing: 0.5”-1”
Helium gas cooling
RF Connection
Load-lock isolation chamber:
Based on BROOKS VCE-2 (For wafer substrate cassette)
Load-lock transfer chamber:
Based on BROOKS VTS-4 (Vacuum transfer system)
Isolation valve (VAT Series) MESC-compatible rectangular valve
Substrate transfer robot (4.5 3-Axis Electro Mechanical Solutions)
Control box for RF plasma:
Power distribution components:
Circuit breakers, relays and PLC modules
RF Power supply:
RF Antenna power supply: 40MHz, 1 kW
Vacuum pumping system:
ULVAC LR-90 Load-lock chamber dry pump:
Dry vacuum pump
Transfer chamber dry pump
Process chamber pump
Turbo molecular pump
Computer control system:
Operator interface
PC Based user interface
Programmable logic controller
GE Series
Real time control system based on PLC
Software:
PLC System control software
Windows based NT or higher OS
DDE Server
Process gas inlet system:
Internal framed gas box
Mass flow controlled gas inlet
(4) Process gas lines
316L Stainless steel plumbing, EP, welded with VCR fittings
In-line filters
With additional process chamber POU filtration
Compressed air system:
Valve actuation and door seating
Cooling system (chiller):
Tubular substrate helium gas
Dry air cooling system
Process chamber:
Chamber size: ~59 liters
Dual plates
Capacity: Coupled plasma
Applications:
3-D Tubular substrate dry etching
Currently crated and warehoused
2007 vintage.
ULVAC TDE 300Mカスタムは、さまざまな産業用途における精密材料加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、エッチング、ベーキング、焼結をさまざまな材料で行うことができ、バッチ操作やカスタムプロセスプログラム用に設計されています。TDE 300Mカスタムシステムは、コアエッチングおよびベーキングチャンバー、チャンバ移動サブシステム、および中央制御ユニットで構成されています。これは、300Lの総室容積と3段階のチャンバー設計を有し、チャンバーエッチングやベーキング操作に適しています。エッチングチャンバーの最大温度は1500- 1700℃で、チャンバー部品は最大1600℃inの動作に達することができます。ベーキングチャンバーの容量温度は250〜 、ベーキングの最大温度は です。ULVAC TDE 300Mカスタムマシンは、精密材料エッチングおよびベーキング操作をサポートするさまざまな機能を提供します。これは、すべての資産機能のグラフィカルユーザーインターフェイス制御を提供する10 インチLCDスクリーンを備えた制御ツールと、簡単に分析するための歴史的なプロセスデータのテーブルとグラフのビューを備えています。また、高速かつ正確な温度管理のために、デジタル信号プロセッサ（DSP）を備えたマイクロプロセッサベースのマイクロコントローラと統合されています。また、過温度保護、過電力シャットオフ、運転中の安全を確保する自動安全タイマーなどの安全機能が内蔵されています。TDE 300Mの習慣は装置の性能を改善するいろいろな付属品が装備されています。これらには、水冷ループ、温度センサ、サンプル熱電対、圧力トランスデューサ、真空推力プレート、プログラム可能なデジタルタイマー、真空チャンバー、フィルターアセンブリ、ターボ分子ポンプ、およびイオン源が含まれます。ULVAC TDE 300Mカスタムは、さまざまな産業用途に最適な性能と精度を提供する強力なエッチングおよびベーキングシステムです。それは製造業者の特定の必要性を満たすように設計され、高度の特徴および付属品は最も厳しい条件の下で信頼できる、信頼できる性能を提供します。
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