中古 ULVAC Rise 300 #9270940 を販売中
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ULVAC Rise 300は、ユーザーに完全なエッチング、アッシング、クリーニングソリューションを提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。大きなチャンバーサイズと高温範囲で、厳しい条件下での精度と柔軟性を提供します。エッチャー/アッシャーには、使いやすいようにLCDタッチパネルモニターを備えたマイクロコンピュータベースのGUI制御装置も備えています。Rise 300の直径は311mm、奥行きは200mmで、より大きなウエハや部品に対応できます。チャンバーはステンレス製で、エッチングとクリーニングの進行を観察するための石英窓とライナーが付いています。エッチャー/アッシャーは、25〜400°Cの温度範囲を提供し、最大5ガスのガスミックスオプションを提供します。また、20〜760 Torrの真空範囲もあります。エッチャー/アッシャーはオンボードタイマーも備えており、ユーザーはアプリケーションに応じて特定のエッチング時間を設定できます。その他の機能としては、高速予温、均質ホットゾーン、安全インターロックシステム、冷却ユニットなどがあります。アルバックの上昇300のエッチャー/asherは半導体、ハードディスクおよびLCDの生産の適用にとって理想的です。エッチング、アッシング、脱カプセル化、基板や部品からコーティングを除去するために使用されます。大きなチャンバーサイズのため、Rise 300はより多くのウェーハを扱うことができ、ユーザーの時間とコストを節約できます。ULVAC Rise 300が提供する高温は、チップや基板上の頑固な層を除去するのにも理想的です。Rise 300エッチャー/アッシャーは、柔軟性、精度、信頼性を提供し、さまざまなエッチングおよびクリーニング用途に最適です。チャンバーサイズと温度範囲により、大規模なバッチ実行や精密なマイクロエッチング作業に適しています。直感的なコントロールマシンは、ユーザーフレンドリーな操作と安全な取り扱いを保証します。エッチャー/アッシャーはまた、エレクトロニクス業界でエッチングとクリーニングを必要とするさまざまな操作のための手頃な価格のソリューションをユーザーに提供します。
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