中古 ULVAC Phoenix #9186931 を販売中

アルバック・フェニックスは精密微細加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、浅いソース/ドレインプロファイルのエッチング処理を利用しており、優れた解像度と再現性を備えた高解像度パターンを生成することができます。このシステムは、超低電圧（ULV）ソース、高度な基板ホルダー、およびarobustコントローラを含む高度なコンポーネントのセットを備えています。これらのすべてのコンポーネントは、高精度のエッチングとアッシングプロセスを作成するために協力しています。フェニックスの電源は超低電圧（ULV）電源で、0-1300Vから幅広い電圧を供給でき、電流および電圧設定を正確に制御できます。この機能により、正確なプロファイルと安定したエッチング/アッシングプロセスが保証されます。さらに、ULVAC Phoenixは、基板とソース間の電気的干渉を最小限に抑えるように設計された精密な基板ホルダーを使用しており、最適な結果を得ることができます。Phoenixのコントローラーは高度で直感的で、ユーザーにさまざまなエッチングとアッシングパラメータを提供します。また、3Dプロファイル制御も可能で、複雑な構造の表面を簡単に正確にエッチング/アッシュできます。さらに、コントローラには高度なタイミングユニットが搭載されており、エッチングとアッシングプロセスを高い精度で制御するために使用できます。ULVAC Phoenixは最先端のエッチング/アッシングシステムの1つで、精密で高解像度のパターンの微細加工に最適です。機械は使いやすく、優れたエッチングとアッシングの結果が得られます。ユーザーに直感的で使いやすいインターフェースを提供し、目的のパターンを素早く正確に達成できます。高品質の結果と使いやすい制御ツールにより、Phoenixはあらゆるエッチング/アッシング用途に最適です。