中古 ULVAC Phoenix #9164102 を販売中
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ID: 9164102
ヴィンテージ: 1998
Etcher
Enviro single chamber
Multiple step RF
Microwave plasma asher
Includes:
BROOKS AUTOMATION MTR-5
BROOKS AUTOMATION Board M/N 001-1951-02 revC3
BROOKS AUTOMATION M/N 001-8200-76
BROOKS AUTOMATION M/N 001-2300-47
ASTEX AX2050 2500 W Microwave power generator
ASTEX AX3032
ASTEX AX3030
ASTEX F120047
ASTEX SA2050TBB
ASTEX S402WG2
ASTEX AX3060
GE FANUC Series 90-30 CPU 341
ENI Automatch M/N MWH-5-01M3
JET Light power supply M/N DC24-8000-30
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1008
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1009
THK-SC6
MKS Vacuum isolation valve M/N LP2-40-AK-CLVS
MKS BARATRON Pressure transducer M/N 122BA-00010AB
Multiple AERA MFCs FC-7700CD
NUPRO Valves
Gateway computer & wonder ware
Spare parts
Multiple support manuals & documentation
Power: 208 V, Cycles 60 Hz, 30 Phase, 60 A, 5 Wires,
1998 vintage.
アルバック・フェニックスは、株式会社アルバックが開発したエッチング・アッシャー装置です。各種基板の高速・高精度エッチング・アッシング用に設計されています。このシステムは、超高速、ワンパス、角度制御を可能にする自動基板処理ユニットを備えています。フェニックスはイオンビームを使用して基板を均一にエッチングし、エッチング/アッシング源とコントロールユニットの2つの主要コンポーネントを備えています。ソースは、イオン源、機械運動機、イオンビームを集中させる一連のレンズで構成されています。制御ユニットは、エッチング、アッシング、クリーニングプロセスを制御するために必要なパラメータを提供します。コントロールユニットは、さまざまなパラメータ設定を提供するように設計されており、ユーザーはさまざまな基板の望ましい結果を達成するためにパラメータをプログラムすることができます。プログラム可能なパラメータには、ガスの流れ、ソース・ビーム電力、エッチングおよびアッシング角度、および材料層レートが含まれます。調節可能なパラメータは、さまざまな材料やプロセスに柔軟性を提供します。さらに、ULVAC Phoenixは、帯電防止保護、人間工学に基づいて設計されたコントロールパネル、洗練された安全ツールなど、安全の国際基準を満たすように設計されています。フェニックスは、利用可能な最も強力で信頼性の高いエッチャー/灰の一つです。高速エッチングとアッシング、高感度な制御システム、高度な安全機能を利用して、ユーザーにエッチングとアッシングのための効率的で効果的なソリューションを提供します。また、柔軟なプログラミング機能により、幅広いアプリケーションやプロセスを実現し、エッチング/アッシングのニーズに最適なパフォーマンスを実現します。
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