中古 ULVAC Phoenix #133356 を販売中

アルバック・フェニックスは、株式会社アルバック・テクノロジーズが開発したエッチング/アッシング装置です。これは、最新の集積回路設計を作成するのに役立つため、半導体業界にとって不可欠なツールです。このシステムは、基板材料の表面に微細なパターンを形成するために、熱酸化および化学エッチングプロセスを利用しています。このプロセスは、ナノメートルの範囲まで、小さく複雑なパターンを作成するために不可欠です。薄膜回路の作成にも使用され、エレクトロニクス業界で最も広く使用されているエッチング/アッシュ機器の1つです。フェニックスは超低真空（ULV）チャンバーを備えており、ガスや化学物質をチャンバーに供給する回転源を備えています。部品は4軸ロボットユニットのチャンバーに積み込まれます。ロボットは、高精度、再現性の高い精度を持っており、異なる形状やサイズの複数の部分に対応することができます。ウェットエッチングとドライエッチングの両方が可能です。ウェットエッチングでは、化学混合物をチャンバーに注入し、基板表面に所望のパターンを作成します。ドライエッチングは、スパッタおよび/またはイオン爆撃のプロセスを通じて選択的エッチングを達成するためにプラズマを使用してパターンを作成します。ULVAC Phoenixは、シングルウェーハとウェーハカセットの両方のローディングに対応しています。これにより、手動および自動ローディング、アンロード、およびチャンバーへの転送の両方が可能になります。チャンバー内に入ると、高真空圧、反応性ガス、熱を組み合わせて部品をエッチングまたは焼却します。また、迅速なサイクルタイムと高性能な回転精度により、チャンバー内のさまざまな操作を迅速かつ効率的に完了できます。このツールはまた、優れた信頼性と再現性を提供します。これにより、製品の一貫した品質が保証され、優れた歩留まりと生産スループットが向上します。さらに、フェニックスは、最小限の副産物を生み出すように設計された数多くの酸化およびエッチングプロセスを利用して、業界をリードする安全性を提供します。全体として、ULVAC Phoenixは、高品質で複雑なサブミクロン集積回路設計の製造に最適な優れたエッチングおよびアッシング資産です。それはそれをあらゆる本番環境で強力なツールにする機能の配列を誇っています。