中古 ULVAC NLD-800 #293610229 を販売中

ULVAC NLD-800 Asher/Etcherは、ウェーハや幅広い基板の加工に最適な高性能エッチング/アッシング装置です。超精密エッチングとアッシングプロセス、および大部分のお客様にエッチャーユニットを可能にする機能を備えたNLD-800は、非常にタイトな寸法公差と高レート生産に最適なソリューションです。エッチャー/アッシャーには大きなチャンバーがあり、電気エネルギーを効率的に転送し、エッチングとアッシングプロセスを正確に制御する無線周波数発生器が装備されています。ULVAC NLD-800は、RFジェネレータの高周波および高出力機能を活用して、均質で、非常に反復可能で、非常に制御可能なエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。プロセス数、プラテン温度、周波数、電力、化学濃度などの制御パラメーターを備えており、各アプリケーションに最適な結果を得るためにプログラムすることができます。NLD-800は直径6。0"までの基質を変更なしで便利に処理するように設計されています。クランプシステム、可動バスケット、ホルダーなどの標準的なアクセサリー、および分離プレート用ドーム支持プラットフォームが基板を均一に処理するために提供されています。基板は、バッチローダーシステムを使用して簡単にロードおよびアンロードすることができます。ULVAC NLD-800には、カバーインターロックスイッチやプラズマ抵抗イオナイザーなど、室内の圧力が正常になる前にチャンバーを開けないようにする様々な安全対策が施されています。また、低質量のステンレス製カバーと最適化された避難システムにより、プロセス化学物質の排出を大幅に削減することができます。エッチャー/アッシャーの高度な設計により、さまざまな化学物質との最適な互換性が可能になり、化学物質の消費を削減し、オペレータと環境への影響を最小限に抑えます。さらに、高度な診断機能と予防メンテナンス機能により、均質で繰り返し可能なエッチングまたは灰プロセスを確実にするために、システムのプロセス条件とパラメータを監視することができます。NLD-800は、研究開発、受託製造、または生産環境における高精度エッチングおよびアッシング作業に最適です。軽量設計、高度な安全機能、RFジェネレータ機能を備えたULVAC NLD-800は、幅広いクライアントに高度な制御、再現性、機能性を提供します。