中古 ULVAC NLD-500 #9055179 を販売中

ULVAC NLD-500は、フォトレジストアッシング、金属エッチング、ウェハクリーニングなど、さまざまなエッチングやアッシング処理に使用される精密エッチャー/アッシャーです。超低真空アッシャー/エッチャーは、ターボ分子ポンプを使用して超高真空環境を実現し、安全で迅速かつ正確なエッチング/灰の材料を実現します。NLD-500は大きい5。7 インチLCD表示を特色にし、容易な操作および信頼できる結果を提供します。また、自動クリーニング、自動閉鎖、自動処理システムなど、いくつかの自動オペレーティングシステムも装備しており、ピーク時に常に動作するようにしています。また、ULVAC NLD-500はデュアルプラズマモードを備えており、同じチャンバーでウェーハまたは基板を同時にエッチングおよび灰にします。エッチャー/アッシャーは、小型で効率的な冷却システムで設計されています。密集した設計は容易な配置および輸送を可能にしますが、冷却装置はNLD-500に長い、信頼できる寿命があることを保障します。ULVAC NLD-500は、メモリに蓄積された複数のレシピや、プラズマフルオリン酸（HF）ウェットエッチング処理、リアクティブイオンエッチング処理（RIE）などのさまざまなプロセスをサポートすることができる、柔軟性の高い設計となっています。NLD-500は、シリコンから石英、金属など、幅広い基板タイプに対応できます。ULVAC NLD-500の安全機能は最高レベルであり、労働者と環境に対する高度な保護を備えています。フッ素ガス濃度を監視・制限する水素フッ化センサーや、適切な水位で機械が動作していることを確認するための水位警報など、複数のセンサーを搭載しています。NLD-500は、超高真空環境と効率的な冷却システム、作業者と環境に対する優れた保護レベル、多種多様な基板の処理能力を備えた、エッチング/アッシング基板の画期的な機械です。ULVAC NLD-500により、ユーザーは正確な結果を迅速かつ確実に達成することができます。