中古 ULVAC NE-950EXz #293797424 を販売中

ID: 293797424
ヴィンテージ: 2014
Dry etching system 2014 vintage.
ULVAC NE-950EXzエッチャー/アッシャーは、反応イオンエッチングおよびアッシングプロセスを制御するための汎用性と信頼性の高い高度レベルのツールです。この装置は革新的な設計を備えており、以前のモデルよりもパフォーマンスが向上しています。このシステムは、プロセスチャンバー、デュアルロボット、コントローラ、およびさまざまなインターフェイスデバイスで構成されています。このチャンバーには、均一性の向上と相互汚染の少ないin-situ誘導プラズマ発生器が装備されており、垂直および水平の電界を使用して高品質の生産性を実現しています。デュアルロボットは、オートフィードとローディング機能を強化し、迅速かつ簡単な操作を可能にします。高い沈着率NE-950EXz、より均一なコーティングと高いプラズマ密度を実現し、エッチング/アッシング性能を向上させます。このユニットには多機能コントローラが装備されており、さまざまなプログラミングオプションが可能です。オペレータは、堆積とエッチングプロセスを特定のタスクに合わせて調整するために、さまざまなパラメータを設定できます。コントローラはまた、品質の結果を確実にするためのリアルタイム監視機能を提供します。コントローラは遠隔操作が可能で、さらなる利便性と柔軟性を提供します。ULVAC NE-950EXzには、ターボポンプ、真空ゲージ、エンドポイント検出器、自動圧力制御機などのさまざまなアクセサリも含まれています。これらの付属品は有効で、信頼できる操作を保障するように設計されています。このツールは、さまざまなガス混合物で使用することができ、あらゆるエッチング/アッシングプロセスに完全に適応することができます。要約すると、NE-950EXzは高度なユーザー向けに設計された多目的で信頼性の高いエッチング/アッシング資産です。高効率コンポーネント、多機能コントローラ、各種アクセサリを搭載し、高品質な結果を迅速かつ簡単に操作できます。
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