中古 ULVAC NE-950EXk #9410744 を販売中

ULVAC NE-950EXkは、200mm x 200mmの領域でプラズマ処理が可能な高真空チャンバーを備えたエッチャー/アッサーです。精密なエッチング/エッチングまたは表面活性化のための高精度の水素または酸素のプラズマプロセスを作成します。NE-950EXkは、発電源、プロセスガス混合源、ポンプ源、温度制御源、温度監視源を備えています。アルバックNE-950EXkには低温真空ポンプも搭載しており、有機基板のエッチングや表面改質に最適です。プラズマ処理システムは、約10umの有効深度を提供し、薄膜表面の精密な制御を可能にします。NE-950EXkはまた、エッチングの時間と電流、表面活性化のための温度、ガス流量など、エッチングおよび表面処理のための幅広いプロセスパラメータを提供しています。さらに、ULVAC NE-950EXkは手動または半自動モードで動作できます。マニュアルモードはパラメータの基本的な制御を可能にし、半自動モードはカスタマイズされたプロセスパラメータを設定し、不規則な形状の基板の自動補正を可能にします。また、データストレージとソフトウェアアップデート機能も備えており、エッチングや表面処理を行う際の使いやすさも向上しています。さらに、エッチングプロセスの設定を可能にするために、1000ポイントベクタージェネレータが付属しています。NE-950EXkの高真空チャンバーは、エッチング/表面処理プロセスがクリーンな環境で行われることも保証します。全体的に、ULVAC NE-950EXkはエッチャー/アッサーであり、幅広いプロセスパラメータを持つ複数の基板上で精密なエッチング/表面活性化を提供します。クリーンな加工環境のための高真空チャンバーを備えており、手動モードと半自動モードの両方で操作できます。さらに、ベクトル発電機は追加の精度を提供しますが、冷却システムはエッチング中に最高品質の基板を維持するのに役立ちます。