中古 ULVAC NE-950EXk #9359650 を販売中

ULVAC NE-950EXkは、高品質のマイクロエレクトロニクス部品を製造するために設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は最先端の技術を使用して、汚染を最小限に抑えながら一貫して正確で再現可能な結果を生み出します。このシステムはオールインワンのエッチャー/アッシャーで、ソースとチャンバのコンポーネントが内蔵されており、どちらもモジュール式で、拡張性と柔軟性が容易に設計されています。このユニットのソースモジュールは、ガスキャビネットとシャワー、RFジェネレーター、ホットフィラメントアセンブリを含むガス分配機で構成されています。ガスキャビネットとシャワーは、プロセスチャンバーに精密かつ再現可能な量のプロセスガスを提供し、プロセスの性能を正確に制御することができます。RFジェネレータは、FCCVD、 F-CVD、めっきエッチングプロセス用の電力を提供し、制御された蒸着または複数の層の正確にチューニングされたエッチングを提供し、RSジェネレータは再現性と性能を保証します。ホットフィラメントアセンブリ（HFE）モジュールは、急速な熱処理技術のために設計されており、熱酸化、アニール、およびその他のプロセスに不活性な環境を提供します。NE-950EXkのプロセスチャンバーモジュールは、優れたプロセス均一性、再現性、および堅牢性を提供するように設計されています。冷却水排気量アセットを搭載した統合ウェットベンチツールです。このチャンバーは、超高密度エッチング、スパッタエッチング、プラズマアニール、RIEエッチング/エッチングなど、幅広いプロセスアプリケーションで動作するように設計されています。このチャンバーは、成膜、フィルム洗浄、スパッタリングなどの多目的アプリケーション用にも設計されています。超高精度、再現性、エッチングおよびアッシャープロセスの優れた性能により、ULVAC NE-950EXk幅広いマイクロエレクトロニクス部品および製造プロセスに最適なプロセスソリューションです。アルバックは、信頼性の高いモデル設計に加えて、NE-950EXkに多数のサポートサービスを提供しています。これらのサービスは、完全なスタートアップ支援、設置ガイダンス、コンサルティングおよびトラブルシューティングサービス、およびプロセス開発と最適化を提供します。これらのサービスにより、ULVAC NE-950EXkは半導体およびマイクロエレクトロニクス市場で最高レベルの性能を提供するように設計されています。