中古 ULVAC NE-950EXk #9204281 を販売中

ULVAC NE-950EXk Etcher/Asherは、高品質のエッチングおよびアッシング処理を可能にする高精度エッチングおよびアッシング装置です。高精度圧力制御システムとULVAC独自のエッチング技術により、エッチング深度NE-950EXk極めて均一で線幅の狭いフィルムを製造することができます。ULVAC NE-950EXkは、一連の化学プロセスと物理技術を使用して材料をエッチングまたは灰にするエッチャー/アッシャーです。このユニットには、エッチングマスクを堆積するためのプラズマエッチャーモジュールと、エッチングマスクを除去するためのスパッタリングモジュールが含まれています。また、精密エッチングやアッシングに使用できる高精度圧力制御ツールを内蔵しています。エッチング処理は、ガス相の材料と反応する化学薬品を使用して行われ、フィルムを正確にエッチングするために使用されます。アッシング処理は、表面から不要な材料をエッチングするために使用される酸化剤で行われます。このプロセスは、他の方法で達成することができるよりも残留層と高い精度で精密なアッシングを可能にします。NE-950EXk資産には、3つの独立した制御可能なガス源、温度センサー、および精密なエッチングとアッシングを可能にするマスフローコントローラが装備されています。さらに、このモデルにはチャンバー圧力監視装置もあり、正確で再現性のある真空結果を得ることができます。アルバックNE-950EXkは、エッチングとアッシングに加えて、アルバムイオン、スパッタフィルム、ポリマーフィルムも製造することができます。さらに、汎用性の高いシステムは、多層基板処理を可能にします。要するに、NE-950EXkは、エッチング深度が広く線幅が狭い高品質な結果を出すことができる高精度エッチングおよびアッシングユニットです。また、高精度圧力制御ツールと独自のエッチング技術を統合し、精密で再現可能なエッチング深度と狭線幅のフィルムを製造するための優れたソリューションとなっています。最後に、この資産の汎用性により、スパッタ堆積膜、イオンビーム蒸着、および複数の基板層を生成することもできます。