中古 ULVAC NE-950EX #293828963 を販売中

アルバックNE-950EXエッチャー/アッシャーは、さまざまな用途で極薄膜の精密エッチングまたはアッシングに使用される高度なドライエッチング装置です。このシステムは、Si、 GaAs、 Cuなどのさまざまな材料を扱うことができます。このユニットは、カウンターバランスロードフレームとスラスト容量の向上により、高いスループットと精度を維持しながら、プロセスパラメータを最大限に制御できるように設計されています。NE-950EXは、高精度のエッチングまたはアッシングプロセスを提供します。この機械は高いスループットおよび速いターンアラウンドタイムを提供する多数のプロセス機能が装備されています。これには、正しいウェーハの厚さの自動調整、正確な圧力制御、および正確な温度制御が含まれます。そのDC操作は一貫した性能を保障し、静電気放電の危険を除去します。さらに、プロセスチャンバー内のパーティクルフリー粒子を保証する高度なパイプ圧力モニタと統合されています。ULVAC先進プラズマジェネレータを採用したULVAC NE-950EXは、基材へのダメージを最小限に抑え、高いエッチング速度を実現します。このツールはマルチノズルプラズマソースを備えており、エッチング速度と選択性を高度に制御できます。3電極アセットを追加することで、エッチングされたパターンのサイズ、形状、深さを正確に制御することができます。NE-950EXは、プロセスオートメーション装置で優れたプロセス安定性を提供します。このシステムは15までの異なった調理法を貯えることができ、簡単な押しボタン操作と調節することができます。このオートメーションユニットは、遠隔操作と診断による効率的なメンテナンスも可能です。追加の安全性と保護のために、機械はまた、自動、遅延過圧保護と緊急シャットオフスイッチと統合されています。ULVAC NE-950EXは高度なエッチャー/アッシャーで、迅速かつ正確なプロセスを提供し、優れた再現性を提供します。統合されたオートメーションツールにより、高い再現性と高度な制御性で優れたエッチング品質を提供することができます。メンテナンスコストの低さと相まって、このモデルは優れた投資収益率を提供します。