中古 ULVAC NE-950EX #293647319 を販売中

ULVAC NE-950EXは、ハイエンドの研究および産業用途の要求に応えるように設計されたエッチング/アッシャーです。ウェーハや集積回路などの基板に高品質で高解像度のエッチングを実現します。狭い電子ビームを利用して、高エッチング率、低汚染、優れた表面品質を提供します。NE-950EXは、独自のラジアルビーム制御装置を備えており、優れた深度制御を実現し、ビーム安定性と均一性を向上させるためのシールド付きホットカソード電子銃を備えています。ULVAC独自のガス混合システムを使用して、エッチャーはメタン、酸素、一酸化窒素、窒素ガス、アルゴンなど、さまざまなガスをサポートしています。さらに、自動ガス組成とフロー制御機、高速で効率的なエッチングのための包括的なプロセス制御ソフトウェアが装備されています。また、このソフトウェアを使用すると、エッチングプロセスごとにパラメータを設定し、一貫性のある結果を得ることができます。さらに、ULVAC NE-950EXは、エッチング時の汚染を最小限に抑えるために、密閉されたRFプラズマチャンバーを提供します。その洗練された加熱ツールは、プロセス表面の温度を高め、ガスをイオン化してイオンと電子のプルームを形成することにより、エッチングをより効率的にするのに役立ちます。これらのイオンは基材と反応し、均一なエッチングプロファイルが得られます。この資産には、内蔵の自動真空モデルと包括的な機器監視および診断ソフトウェアが装備されています。この監視ソフトウェアを使用すると、リアルタイムのシステムパラメータ、ガスの流れと圧力、室温、エラーメッセージを監視できます。さらに、外部プリンタまたはコンピュータにデータをエクスポートして、さらなる分析と記録管理を行うことができます。最後に、NE-950EXは操作の容易さのために設計されており、直感的なユーザーインターフェイスとタッチスクリーンコントローラで提供されています。このエッチャー/アッシャーは、優れたエッチング結果、基板汚染の低減、高い表面品質と解像度、およびコンパクトで手頃な価格のユニットでの優れた深度制御を提供します。