中古 ULVAC NE-950EX-V #9298401 を販売中
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ULVAC NE-950EX-Vは、モジュラー設計で構築されたエッチャー/アッシャー装置です。金属から半導体まで幅広い素材の高品質エッチングが可能です。250mmウェーハまで、さまざまなサイズの基板をエッチング/アッシングすることができます。基板のサイズを検出するセンサーを搭載し、エッチング工程ごとに適切な設定を行えるようにしています。このユニットは、最大3つの異なるエッチングと2つのアッシングステーションを保持することもでき、マルチステップエッチングとアッシングプロセスを1回で実行できます。NE-950EX-Vの主な特徴は、その汎用性です。4軸のX-Y-Z- θ制御機を備えており、各基板を正確に配置し、最大のエッチング精度で調整できます。このツールは、さまざまなプロセスガスにも対応でき、各ガスの流れを正確に制御することができます。これにより、異なるエッチングプロセスとアッシングプロセスをさまざまなアプリケーションに使用でき、エッチングプロファイルとパフォーマンスを制御できます。アセットは、カスタマイズされたエッチングおよびアッシング操作のためにユーザプログラマブルである自動制御ユニットによって駆動されます。また、プロセスパラメータを最適化するためのオートチューニングモデルを内蔵して設計されており、リモートで監視および制御することができます。これにより、プロセス変更時でも高速で安定した信頼性の高い動作が可能になります。この装置には、不正で潜在的に危険な操作を防ぐためのインターロックと監視要素を備えた包括的な安全機能もあります。結論として、ULVAC NE-950EX-Vは、精密制御と自動化を備えた強力で有能なエッチャー/アッシャーです。高い柔軟性と最適化された操作により、あらゆるタイプのエッチングおよびアッシング用途に最適なシステムです。
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