中古 ULVAC NE 7700 #9111268 を販売中

ULVAC NE 7700は、多種多様な材料をエッチングするために設計された高精度、低温エッチャー/アッシャーです。その低温機能により、劣化のリスクを最小限に抑えながら、繊細で敏感な材料をエッチングすることができます。NE 7700は、ステンレス鋼で構成され、内部容積は71Lです。二酸化炭素（CO2）ガス供給システムを備えており、チャンバー全体で正確かつ均一なエッチング工程制御が可能です。そのスリット負荷設計は容易な基質のローディングおよび荷を下すことを可能にし、プロセス部屋の土の粒子に対して保護を提供します。さらに、プロセスから汚染物質や揮発性有機化合物を避難させるために、統合された真空ポンプが含まれています。プロセス制御用に、ULVAC NE 7700には、手動およびプログラム可能な電源供給を備えた電源ユニット（PSU）があります。PSUは、10msのステップでパワーオン時間とパワーオフ時間を設定可能で高精度であり、総電源持続時間は25msのステップで設定可能です。プロセス全体の処理圧力を監視するための真空圧力インジケータ（VPI）も含まれています。NE 7700には、エッチング条件に基づいてウェットエッチング処理を自動制御する最適プロセス設定プログラムが装備されています。ターゲットのエッチング深さと感度をエッチング速度とプロファイルに入力することで、プログラムはエッチング処理に最適な条件を計算します。エッチング速度は0。2から20 μ m/minまで調節可能で、エッチング温度範囲は0°C-70°Cです。ULVAC NE 7700は、金属、半導体、ポリマーなど、さまざまな材料のエッチングに使用できる汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。コンパクトなデスクトップ設計により、あらゆるラボ環境に簡単に統合でき、低温機能により、精密で敏感なエッチング用途に適しています。そのため、大学、研究機関、生産環境におけるエッチングやアッシング用途に最適です。