中古 ULVAC NE-5700 #293625420 を販売中

ULVAC NE-5700
ID: 293625420
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2007
Dry etching system, 6" 2007 vintage.
アルバックNE-5700 (ULVAC Technologies Inc。)これは、高精度、効率的かつ繰り返し可能なドライエッチングを可能にするデュアル周波数機器です。このシステムは、試料を反応性ガスでチャンバーに保持しながら、基板材料に高周波波を供給することによって機能します。波動エネルギーは、基板材料中の分子の結合を分解し、材料の除去を可能にします。このユニットは、幅広い材料で高精度のエッチング処理を提供するように設計されており、さまざまな用途があります。NE-5700の特徴は、最大130MHzの高周波パワーアンプ、広範囲の波形および周波数スイープを備えているため、エッチング工程での高性能と精度を実現します。さらに、ULVAC NE-5700は、エッチング工程中の反応ガスの損失を防ぎ、性能と安定性を向上させるロードロックチャンバーを備えています。NE-5700は、シリコン、アルミニウム、マグネシウム、チタンなどのエッチング材料に使用できます。この機械は可変電源を備えており、プラズマエネルギーのバランスの取れた分布で様々な深さの材料を効果的にエッチングするように調整することができます。さらに、このツールには、圧力、真空レベル、RF電力、周波数などのパラメータを他の多くの変数とともに調整できるデジタル設定ノブが付属しています。このデジタル設定機能により、ユーザーは素早く効果的にアセットを調整して最適な結果を得ることができます。ULVAC NE-5700は遠隔監視機能も備えており、ジョブデータのアクティブな監視とオペレーションのリアルタイム制御を可能にします。最後に、モデルのグラフィカルユーザーインターフェイスは、操作を容易にするための堅牢なヘルプガイドと複数のチュートリアルビデオを使用して、直感的で使いやすいように設計されています。全体的に、NE-5700は高度なドライエッチャー/アッシャーであり、幅広い材料で高精度で効率的に設計されています。最適な結果を得るために、ロードロックチャンバー、デジタルノブ、遠隔監視機能など、さまざまな機能と機能が搭載されています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたULVAC NE-5700は、信頼性の高い強力なドライエッチング機器を必要とするお客様に最適です。
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