中古 ULVAC NE-550EXz #293797487 を販売中

ULVAC NE-550EXzは、さまざまなナノ加工アプリケーションをサポートするように設計された高度なプラズマエッチャー/アッシャーです。優れた電気特性とタイトな寸法により、ナノデバイスの製造に特に適しています。NE-550EXzは効率的なプロセス制御を備え、高精度の石英水晶チャンバーを備えており、エッチングパラメータと結果を正確に制御できます。このチャンバーは、反応ガスの安定供給を確保するように設計されており、低い周囲圧力（6mTorr未満）に達することができます。また、III-Vやポリマー基板などの試料材料の優遇処理も改善されています。ULVAC NE-550EXzは、制御機能とモニター機能も内蔵しています。コンピュータ制御システムにより、エッチング中のガスの流れ、圧力、プラズマ状態を正確に監視できます。また、温度制御アルゴリズムの形でリアルタイムのフィードバックを利用して、一貫した結果をオペレータに保証します。また、基板の自動リアルタイムトリミングもサポートし、エッチプロファイルを最適化するために小型の調整を行います。パワー面では、NE-550EXzはユーザーに優れたパフォーマンスを提供します。プラズマ源に十分な電力を供給する2つのマイクロウェーブ発電機（高周波パルス発電機1台、低周波連続発電機1台）を装備しています。これにより、高い選択性と均一性を持つエッチングプロセスを実現できます。また、最大15秒のサイクルタイムを実現することができ、高速なシステムでナノデバイスのクイックターン生産に最適です。最後に、ULVAC NE-550EXzは、ULVACの有名なサービスとサポートによって支えられています。経験豊富な技術者は、インストール、試運転、データロギング、および定期的なメンテナンスを支援することができます。その結果、NE-550EXzのユーザーは、最高レベルのカスタマーサービスに支えられていると確信することができます。