中古 ULVAC NE 550EXa #293627815 を販売中

ULVAC NE 550EXaは、優れたエッチングと灰のパフォーマンスを提供するフル機能のエッチャー/アッシャーです。この装置には、高度なチャンバー設計とさまざまなプロセス、ポンプ、抽出オプションが装備されており、最も困難なエッチングと灰の要件を満たすために調整することができます。NE 550EXaチャンバの設計は、高度なデュアルゾーン、回転およびリニアドライブ、および独立したマルチゾーンエッチングおよびアッシュ機能を備えています。プロセスチャンバーは、RF駆動のステープルウォール設計とダブルウォールプロセス排気マニホールドを使用して、最大ポンプチャンバーのパージ効率と最適なプロセス制御を実現します。デュアルゾーン設計により、ウェーハの複数の領域で機能のエッチングとアッシングが可能です。ULVAC NE 550EXaはまた、高効率、マルチスピードマグネトロンスパッタリング源、内部風化冷却室、需要の高いマルチチャンネルポンプ、さまざまなオプションのプロセスガスとその混合物、および電気的に絶縁されたチャンバーなど、さまざまなプロセス、ポンプおよび抽出コンポーネントを備えています。オプションの高効率マルチチャンネルポンプは、最大のプロセススループットと制御を必要とする大容量プロセスに最適です。また、カスタマイズ可能なプロセスプログラムと可変速モータを提供し、エッチングとアッシュプロセスを合理化および自動化します。プログラム可能なプロセス設定により、チャンバー圧力、RFスパッタ電力、チャック電圧、コート/エッチング/灰時間、温度、ガス流量などのプロセスパラメータを設定できます。さらに、NE 550EXaは、安全性とメンテナンスが容易なように設計されています。このユニットは、潜在的に危険な状態のための可聴および視覚アラームを備えた安全インターロックマシンと包括的な監視ツールを備えています。このアセットには、使いやすい電子制御パネルとカラーグラフィカルユーザーインターフェイス、ラボオートメーションインターフェイス、ネットワーク対応操作も含まれています。ULVAC NE 550EXaは、最も厳しいエッチングと灰の要件を満たすように設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。その高度なチャンバー設計、カスタマイズ可能なプロセスプログラム、さまざまなプロセス、ポンプ、抽出オプションにより、製造用の精密で機能豊富な部品を作成するプロセスが簡素化されます。NE 550EXaは、エッチングおよびアッシングの小型部品または大型部品のいずれであっても、コストの削減、効率の向上、生産プロセスの容易性と信頼性の向上に役立ちます。