中古 ULVAC NE 550C #9266611 を販売中

ULVAC NE 550Cは、直径8インチの上限を持つウェーハ上のパターンのサイズ縮小と定義を目的としたエッチャーおよびアッシャーです。ULVAC NE-550Cの高度の設計および特徴は優秀な生産の性能および精密を可能にします。アルバック独自の凝縮補助反応エッチング技術により、低サイドエッチングで高品質な結果を生み出します。このマシンは、パルスエッチング機能を内蔵したインラインで高性能なRFジェネレータを使用しています。パルスエッチングは、ウェーハ上のパターンの高い均一な定義を保証し、不要なエッチングを制限します。NE 550Cは、エッチング処理とアッシング処理を切り替える機能を備えているため、幅広いアプリケーションで使用できます。この機能は、プロセスを頻繁に切り替える必要があるお客様に最適で、効率と生産性を向上させます。また、ウェーハをチャンバー内に配置するとすぐにエッチングまたはアッシング処理を開始する自動ウェーハ処理も備えています。完全自動化された制御装置であるPCベースのコントローラにより、エッチングプロセスを調整し、必要な最高水準を満たすことができます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアと直感的なユーザーインターフェイスは、ガス組成、圧力、エッチング時間、温度などのパラメータを完全に制御します。NE-550Cには、外部ガスと空気の影響を最小限に抑えながら、プロセスチャンバー内のプラズマの高い均一性を提供するオンボード真空システムが含まれています。ガスラインのメンテナンスによるダウンタイムを低減し、安全な処理を保証する自動ガスフィルター洗浄ユニットと自動漏れ検出機。ULVAC NE 550Cは、ウエハ加工用途に最適な高効率エッチング・アッシング機です。これは、高度な技術は、低サイドエッチング入り口で高品質の処理を可能にします。プロセス、自動ウェーハハンドリング、オンボード真空ツール、直感的なユーザーインターフェイスを切り替える機能により、効率的で安全な処理を実現し、最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。