中古 ULVAC NE 5500 #9281926 を販売中

アルバックNE 5500は、さまざまな基板から素材を素早く正確に除去するために設計された高性能ドライエッチング機です。このドライエッチャーは、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、スパッタエッチング、レーザーエッチングなどのエッチング処理を実行できる完全自動化システムです。シンプルで直感的な操作パネルを備えており、ユーザーが変更するための幅広いプロセスパラメータを提供します。この最先端のエッチャーには、プラズマ源、室温制御システム、高出力RF発電機が装備されており、基板処理の正確な制御を提供します。アルバックNE5500ドライエッチャーは、チャンバー温度制御システムを備えており、信頼性の高い低温および高温プロセスで使用することができます。このプロセスにより、エッチング工程で使用される材料や化学物質を正確に制御し、基材の酸化や損傷を防ぐことができます。部屋は外の粒子からの汚染を除去するために10-6 torrの下の総圧力と密封されます。また、エッチング工程を観察するための2つの石英窓も備えています。NE-5500ドライエッチャーには高出力のRFジェネレータが搭載されており、エッチング処理に精密な電力を供給できます。2kHz〜8MHzの幅広い周波数に対応し、高精度です。このエッチャーはまた、最高の精度と制御のための均質な電力分布を保証します。RFジェネレータには、エッチング処理中の安全性と信頼性のための連動機構もあり、あらゆる種類の干渉が迅速に除去されることを確認します。アルバックNE-5500ドライエッチャーには、運転中の最大限の均一性を確保するように設計されたコンパクトなプロセスチャンバーがあります。このチャンバーは、最高の精度を提供するだけでなく、エッチング時の熱損失を最小限に抑えるように設計されています。チャンバー内部には耐食性材料をコーティングし、耐久性を高めています。さらに、メンテナンス性が低く、故障が少なく、時間の経過とともにパフォーマンスが向上します。全体として、NE 5500は効率的で信頼性が高く、堅牢なドライエッチャーであり、さまざまなプロセスのエッチングのニーズを満たすことができます。シンプルで直感的な操作パネルにより、エッチングパラメータを簡単に調整でき、高出力のRF発電機はエッチング時に精度と精度を提供し、メンテナンス性の低い設計により長期的な性能を保証します。このため、ULNAC NE5500は、効率的で信頼性の高いドライエッチャーをお探しの方に最適なソリューションです。