中古 ULVAC NE 5500 #293614742 を販売中
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ULVAC NE 5500はエッチャー/アッシャーです。金属、セラミックス、炭素材料など様々な材料の精密加工に適しています。最大9個の材料を同時に加工できる真空式の多段オーブンです。この高度なエッチャー/アッシャーは、高精度の上流および下流装置など、さまざまなプロセス制御機能を提供します。エッチング時間の自動制御や温度の自動調整などの機能を備えています。また、機能と温度プロファイル制御を維持するためのマルチゾーンシャッター装置が装備されています。このエッチャー/アッシャーは-25〜350°Cの広い温度範囲を持ち、異なる材料の加工に適しています。様々な厚さのSS、 Ti、 Ti合金、アルミニウムなどの材料を加工することができます。また、エッチングやプラズマプロセスの各種サービスも提供しています。マニュアルや従来のプロセスシステムと比較してエッチング精度が高く、基板の自動傾斜、基板の自動回転、自動可変マスク、イオンソース制御システム、4単位の中断など、さまざまなプロセス機能をNE5500しています。優れたウェーハスループットを提供し、処理時間を短縮し、高精度と安定性を確保します。優秀な制御技術および一貫した作動機械はさまざまな適用に顕著な結果を提供します。さらに、高加速、低消費電力動作の機能の組み込みは、エッチングとアッシャーの効率と品質を提供します。NE-5500はまた、環境を安全に保つために空気中の粒子を正確に制御する自動排気と濾過ツールで、環境にも優しいです。また、プログラマブルコントローラに安全機能が統合されており、資産設計は安全な運用を考慮しています。全体的NE5500、エッチャー/アッシャーは非常に耐久性があり、正確で信頼性があります。それに優秀な制御、精密な操作および有効な操作を提供する特徴があります。その複数のアプリケーションは、精密加工とエッチングのための魅力的なオプションになります。
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