中古 ULVAC NE 550 #9236725 を販売中

ULVAC NE 550は、最大450mmの高精度基板の平面処理用に設計されたプラズマエッチャー/アッシャーです。さまざまな材料表面をエッチングするための信頼性が高く、ユーザーフレンドリーで汎用性の高いツールです。NE 550は、強力なエッチングステーションと企業の床面積の節約設計を備えています。この機械は、プラズマ処理用の統合されたMFアンテナ装置を備えており、基板のより均一なエッチング速度、および調節可能なアンテナを可能にし、チャンバーの垂直および水平制御を提供します。ULVAC NE 550のカスタムソフトウェアパッケージを使用すると、さまざまなプロセスや材料のプロセスパラメータをプログラムできます。パッケージに含まれる標準的なハードウェアコンポーネントは、補助ガスパケットヒーター、自動ガス供給システム、遠隔電気ショックユニットであり、安全で信頼性の高い動作を提供します。エッチャーのプロセスチャンバーには、最適な温度と圧力を維持するための独立した冷却機が装備されています。効率的なポンピングツールは、エッチング工程中の粒子汚染を低減するように設計されています。チャンバの温度制御は、PIDタイプのコントローラに接続されたPID温度コントローラによって実現されます。NE 550は、エッチング後の基板の搬送・接着のための高精度ステージと、エッチング工程中の基板のピックと位置のための精密自動移動を備えたロボットアームを備えています。ロボットアームはモーターエンコーダによって駆動され、基板の位置を測定して基板の正確な取り扱いを保証します。安全面では、事故のリスクを低減するためにガス漏れを検出するように設計されています。さらに、このマシンには、緊急停止ボタン、脱出検出機能、および自動シャットオフ機構を含む広範な安全制御アセットが含まれています。全体的に、ULVAC NE 550エッチャー/アッシャーは、高精度部品の量産に最適なソリューションであり、幅広い材料での使用に適しています。操作が簡単で信頼性が高く、安全性と精度を考慮して設計されています。