中古 ULVAC NE 550 #9236724 を販売中

ULVAC NE 550は、最新の半導体産業アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチングとアッシングの幅広いプロセスに対応できるシングルチャンバーエッチャー/アッシャーです。制御されたスパッタリングで完璧なエッチング結果を提供する独自の陰極アークエッチング技術を搭載しています。NE 550は、最高の品質と再現性で原子スケールエッチングとアッシング処理を実行できる高精度ツールです。プラズマ源は、最大電圧4。4kV、パワー2kWの完璧な陰極アーク放電です。直径200〜500mmのウエハ加工が可能で、周囲環境を損なうことなく加工できます。これにより異物発生がなくなり、エッチングやアッシング工程では有害な化学物質は使用されません。エアロックチャンバーは完全に密閉されており、1x10〜6 Torrの真空チャンバーと最大300°Cの温度を利用しています。エッチングとアッシングのプロセス時間は、材料の種類とレシピに応じて、特定のアプリケーションに調整することができます。ULVAC NE 550は、エッジ角度制御装置やチャンバ高速冷却システムなどの高度な機能も提供しています。エッジアングルコントロールユニットは、エッチングソースの角度を制御することにより、エッチング時間を短縮するのに役立ちます。これにより、エッチング結果の均一性と再現性が向上し、基板の酸化も防止します。チャンバーの高速冷却機は、ウェハの熱安定性を低減するのに役立ちます。このツールは、温度変化による欠陥を低減し、エッチング層の品質を向上させるのに役立ちます。全体的に、NE 550は優れたエッチング結果と改善されたプロセスの均一性と再現性を提供する高度なエッチングツールです。それは最高のプロセス効率および装置の最も高い収穫を保障します。高精度で高いスループットエッチング用途に最適です。