中古 ULVAC NE 550 #293758401 を販売中

ULVAC NE 550は、アルバック・テクノロジーズ株式会社が製造するエッチング・エッチング加工機です。NE 550は「、ドライプロセス」技術を活用して、エッチングやアッシュウエハにかかる時間を短縮する設計です。この技術は、ホールディングテーブル、プラズマフロー、窒素ガスを組み合わせてエッチング/アッシング処理を加速します。ULVAC NE 550にはコンピューター制御装置とテクスチャテーブルが搭載されており、ウェハ表面のエッチング灰の接着性を高めています。このテーブルはまた、優れたウェーハ平坦性を提供します。NE 550のチャンバーサイズは40cm（長さ）x 36cm（幅）x 25cm（高さ）です。これにより、直径400mmまでのウェーハと1mmまでの厚膜が可能です。ULVAC NE 550には、再配置機能と自動整列機能が搭載されており、エッチング前にウェーハを素早く整列させることができます。NE 550は、2つのプラズマ源、誘導結合および電子サイクロトロン共鳴（ECR）を利用しており、電力範囲は10〜3,000ワットで、精密なエッチング/アッシングが可能です。温度範囲は100°C〜450°Cで、エッチング速度は0。3 μ m/min〜15 μ m/minです。ULVAC NE 550は、プログラマブルなレシピとパラメータを備えた自動制御ユニットを備えており、ユーザーフレンドリーな操作を可能にします。また、エッチングおよびアッシング用途に酸素、窒素、HCl、 CF4、 SF6ガスを使用する高度な反応ガスツールも備えています。NE 550は、シリコンウェーハ上の金属や誘電体層のエッチング/アッシングに最適です。半導体デバイス、太陽電池、フラットパネルディスプレイの加工にも様々な業界で使用されています。それは研究開発の適用で広く利用されています。ULVAC NE 550は、あらゆるエッチング/アッシュアプリケーション向けの効率的で信頼性の高いソリューションであることが証明された効果的な資産です。精度、スピード、精度を兼ね備えているため、洗練された部品の製造に最適です。これは、高度なエッチングとアッシングツールを必要とするユーザーにとって、信頼性の高い正確な結果を生成するための素晴らしいオプションです。