中古 ULVAC NA1000 #9130841 を販売中

ULVAC NA1000は、エッチングおよびアッシングプロセスで優れた性能を提供するように設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、従来のアッシャー/エッチャーシステムよりも優れた機能、精度、およびコスト上のメリットを提供します。このユニットは、多種多様なヘッド、ポンプなどを内蔵したコンパクトで統合された機械であり、多種多様な半導体および類似のアプリケーションに適しています。NA1000ツールは、効率的かつ信頼性の高い方法でエッチングとアッシングプロセスを実行するために一緒に動作する4つの主要なコンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントには、プラズマジェネレータモジュール、基板輸送モジュール、エッチャー/アッシャーチャンバー、真空ジェネレータモジュールが含まれます。これらのコンポーネントはすべて相互接続されており、効率的で正確な操作を保証します。プラズマジェネレータモジュールは、エッチャー/アッシャーチャンバーへの電流の流れを提供するように設計された真空アーク発生器です。これにより、プラズマ反応を正確に制御し、高速エッチングおよびアッシング操作を行うことができます。基板搬送モジュールは、エッチャー/アッシャーチャンバーに基板を出入りするように設計されたコンベアアセットです。Etcher/Asher Chamberは、独立した避難ポートを備えたチャンバーで、幅広い電極と陽極チップが含まれています。これらのコンポーネントはすべて、エッチングとアッシングプロセスを容易にするために一緒に動作するように設計されています。真空発生器モジュールはモデルの真空の主要な源であり、エッチングとアッシングのプロセスのための低圧環境を生成するように設計されています。このモジュールには、高精度の真空ポンプと、エッチャー/アッシャーチャンバー内の低圧を維持するために必要な付属品が付属しています。さらに、このモジュールには、圧力インターロックシステム、プロセス監視、障害検出アルゴリズムなど、いくつかの安全機能が装備されています。これらの機能は、プロセスが最適かつ安全な条件下で実行されることを保証します。全体として、ULVAC NA1000エッチャー/アッシャー装置は、高効率で信頼性の高いシステムです。モジュラー設計、高精度コンポーネント、およびヘッド、ポンプ、およびその他のアクセサリーの広い配列により、このユニットは、あらゆるエッチングおよびアッシング用途に最適です。さらに、その高度な技術、安全システム、および正確な結果を提供する能力は、あらゆる半導体や類似の生産環境に最適です。