中古 ULVAC NA-8000 #9314090 を販売中

ULVAC NA-8000は、エッチングおよびアッシング処理中に高い精度と制御を提供するエッチャー/アッシャーです。シリコンウェーハ、ガラス、金属など幅広い基板加工に幅広く使用されています。この装置は、プリエッチングとドライエッチング専用のデュアルチャンバー設計を備えており、ポストエッチングとウェットエッチング用にもう1つを備えているため、エッチングとアッシングのプロセスで最大限の柔軟性と効率が得られます。システムは、所望のエッチング深さと速度を決定するコンピュータ制御時間と温度制御ユニットを採用しています。これにより、エッチングの問題が少ないため、より正確なエッチングとアッシングが可能になります。基板をプラズマに露出させることで、エッチングとアッシング性能が向上します。汚染を低減しながらエッチング率と均一性を高めます。ULVAC NA8000は、ウエハハンドリングのためのロードロックマシンを備えています。これは、ダメージやアウトガスを最小限に抑えるため、壊れやすい基板を加工する場合に特に便利です。ウェーハは、真空を破壊したり、外部環境からの汚染にアセットをさらすことなく、ツールからロードおよびアンロードすることもできます。NA 8000は、圧力、温度、露出時間など、エッチングとアッシングのための幅広いプロセスパラメータを提供します。このモデルにはオートメーションルーチンもあり、異なるプロセスパラメータを持つ複数のエッチング/アッシングレシピを設定および管理できます。この機器は、P-2.5、 P-3、およびP-4のフォーマットと互換性があり、迅速なセットアップと簡単な測定が可能です。NA-800は800x500 mmまで調節できる調節可能な段階が装備されています。この内蔵ステージにより、ユーザーはエッチングされない領域を素早く効果的にマスクできます。また、直流プラズマ発電機と半導体グレードのガスデリバリーユニットを内蔵しています。これらの機能は、エッチング/アッシングプロセスを自動化し、ユーザーがガスの流れと圧力を制御することもできます。ULVAC NA 8000エッチャー/アッシャーは、小型・高精度で使いやすいユニットで、エッチングとアッシングの両方に非常に効果的です。多種多様な素材のエッチングとアッシングが可能で、自動化されたプロセスルーチンを備えたデュアルチャンバーマシンの柔軟性と利便性を提供します。調節可能な段階および直接プラズマ発電機はユーザーにエッチングおよびashingプロセスの間のより大きい制御そして精密を提供します。このツールは複数のフォーマットにも対応しており、半導体処理に最適なソリューションです。