中古 ULVAC Luminous NA 800 #293669776 を販売中

アルバック発光NA 800は、半導体アプリケーションに使用されるエッチャー/アッシャーです。半導体材料、メガネ、セラミックスなど、さまざまな材料のエッチング加工に優れた品質を提供する垂直型プラズマエッチャーです。高度な技術と高度な設計により、Luminous NA 800は極めて低いイオンエネルギーと低温を提供することができます。これにより、材料や基材の損傷を最小限に抑え、スパッタリングを最小限に抑えることができます。ULVAC Luminous NA 800は、エッチングチャンバー、ソースチャンバー、ポンプチャンバー、および制御機器の4つの主要コンポーネントで構成されています。エッチングチャンバーは、円形の石英窓を備えたステンレス製の絶縁圧力容器です。これは、RFコイルによって提供されるプラズマとチャンバーの中心に窒素ガス供給が含まれています。源の部屋はガスのための貯蔵容器として使用され、ポンプ部屋は最適性能のためのシステム内クリーニングおよび調整のためです。制御ユニットは、複数の入力キー、デジタルディスプレイ、オペレータ制御ガスフローマシン、およびRFジェネレータで構成されています。エッチチャンバーには、マッチ調整可能な2つのRFコイルと2組の自動パワーチューニングネットワークが装備されており、エッチングを最小限に抑えた高エッチング選択性を提供します。Luminous NA 800は、高度な自動プラズマ制御ツールにより、従来のエッチングシステムに比べて高いプロセス均一性を実現します。精密エッチングに最適です。さらに、RFジェネレータは、任意の電力または周波数で正確で正確な電力を維持することができ、急激なエッチプロファイルを可能にします。アルバック発光NA 800はまた、最高のプロセス安全規格を提供しています。それは最高の安全基準が満たされることを保障する多数の連結が装備されています。さらに、自動ガス制御、自動フィードバック、一定の電力/周波数制御など、プロセスの再現性を高めるための多くの機能も備えています。これにより、最高品質の部品が製造されます。全体として、Luminous NA 800は、半導体アプリケーションの要求に応えるように設計された強力なエッチャー/アッシャーです。ULVAC Luminous NA 800は、革新的な設計と先進技術により、非常に低温およびイオンエネルギーで優れたエッチング品質と精度を提供することができます。これは、プロセスの安全性と再現性を確保するための多くの機能を備えており、利用可能な最高のエッチングシステムの1つです。