中古 ULVAC Enviro #9399209 を販売中

ID: 9399209
Downstream microwave asher Single chamber advanced strip system ENI OEM 6B RF Generator BROOKS AUTOMATION Robot EDWARDS IQ Pump/blower Computer (5) MFCs Manuals included.
ULVAC Enviroは、非常に均一な厚さの高品質の金属表面を製造することができるドライエッチングおよびアッシング装置です。強力な紫外線発光源を搭載し、エッチング工程で基板の熱損傷を大幅に低減します。また、Enviroには優れた真空能力があり、プロセス速度を最大化しながら、10-8 Torr未満のほぼ真空圧力でエッチングすることができます。さらに、エッチングと灰プロセスはガラスライニングチャンバーと統合されており、ユーザーはエッチング中に進行状況を観察し、必要な調整を行うことができます。これにより、システム全体の安全性も向上します。操作面では、ULVAC Enviroは非常に汎用性が高いように設計されています。シンプルな制御ブロック機構と調整可能なガス流量ユニットにより、特定の基板要件に合わせてエッチングパラメータをカスタマイズできます。例えば、電源設定、ガス流量、チャンバー圧力はすべてリアルタイムで調整して、さまざまなプロセスのニーズに対応できます。さらに、この制御装置は、エッチング中に発生する異常な状況を検出できる組み込み監視ツールを備えており、最高レベルの製品性能と信頼性を確保しています。機能に関しては、Enviroにはさまざまなハードウェアコンポーネントも装備されています。これらには、コンピュータモニター、光学表示資産、およびエッチング工程で発生する高温に耐える安全ガラスが含まれます。さらに、ULVAC Enviroは手動モードまたは自動モードで動作するように設計されており、ユーザーは必要に応じてプロセス手順を調整できます。これにより、最も効率的なエッチングプロセスが実現されます。最後に、Enviroは耐久性と低メンテナンス費用のために設計されています。ダブルウォールモデルを採用し、必要に応じて部品にアクセスして交換できるため、長期使用に最適です。また、フィルターやチューブなどの消耗品も同梱され、容易に交換できるため、将来のメンテナンスの必要性が低減されます。全体的に、ULVAC Enviroは、ユーザーにさまざまな高度な機能と機能を提供し、エッチングのニーズに対応する多目的で信頼性の高いソリューションを提供する、印象的なエッチングおよびアッシングシステムです。
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