中古 ULVAC Enviro #9398706 を販売中

ULVAC Enviroは、高度な半導体製造プロセスの課題に対応するために設計された優れたエッチング/アッシングシステムです。それは完全なプロセス制御のための信頼性が高く、自動保護メカニズムが付いている高度システムです。このシステムには、プロセス条件を正確に監視し、高レベルのエッチング/アッシング性能を提供する自動検出/制御ユニットが装備されています。Enviroは、簡単な操作と検索機能を可能にするシンプルなアイコン駆動メニューと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとタッチスクリーンを備えています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、最大10種類のエッチング/アッシングのレシピをすばやく保存してリコールできます。含まれている冷却および暖房プログラムは事前設定された温度およびプロセス時間の推薦と来、特定の適用に適するように調節することができます。ULVAC Enviroは、各チャンバに分離制御を備えた4つのプロセスチャンバーを提供します。高品質のエッチング/アッシング結果を保証するために、ULVACエッチングチャンバーに調節可能なプレートアセンブリが供給され、プレート領域全体に非常に均一なエッチングパターンを提供します。これは、同じバッチサイクル中に異なる半導体材料のエッチング/アッシング特性を維持するのに役立ちます。エッチング/アッシャーは、プロセスのニーズを満たすために、自動ガスミックスを備えた完全なスマートウェハトリマーユニットに接続できます。Enviroはまた、高温アルミニウムチャンバー（最大600℃）を提供し、そのプロセスは、高度な半導体製造で使用されるステンレス鋼、ニッケル、およびタングステン合金の何百もの超微細な機能エッチング/アッシングを満たすように設計されています。ULVAC Enviroは、業界で要求される再現性と精度で、信頼性の高い最高レベルの材料エッチング/アッシング結果を提供します。シンプルなメニューオプション、制御機能、信頼性の高いプロセスチャンバー設計により、プロセス時間を短縮し、歩留まりを向上させます。ULVAC etch/ashテクノロジーは、生産性を向上させ、サンプルコストを削減し、最適なデバイスの信頼性とパフォーマンスを保証します。