中古 ULVAC Enviro #293590385 を販売中

ULVAC Enviroは、さまざまな材料の洗浄とエッチングの効率的で費用対効果の高い手段を提供するエッチャー/アッシャー機器です。エッチング、クリーニング、その他の表面処理機能の広い範囲を実行するように設計されています。高精度な洗浄、エッチング、その他の表面処理を必要とする用途に最適です。Enviroシステムは、特許取得済みの真空リフトと高度なプロセス制御技術を使用して、表面処理結果を改善します。このユニットは消耗ステージで設計されており、取り外し可能/交換可能なステージフレームを備えており、さまざまなウェハサイズとプロセスパラメータに対応できます。ULVAC Enviroユニットの真空リフト機能により、プロセス中に基板を移動させることができ、表面処理の均一性が向上します。エッチングなどにEnviroを使用することで、均一で再現性のあるプロセス制御により、高いエッチング精度と歩留まりを実現できます。実際、ULVAC Enviroマシンから得られるエッチング精度は、他のシステムよりも数倍高いです。また、低温プロセス制御回路を備えており、エッチングが適切に完了するようにウェーハ上の均一な熱分布を保証します。Enviroアセットには高度なプロセスモニタリングもあり、プロセスパラメータとモデルパフォーマンスに関するリアルタイムのフィードバックが可能です。これには、温度フィードバック、プロセス時間監視、メルトレート監視、アラーム機能が含まれます。さらに、この機器には直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が装備されており、オペレータはエッチングパラメータを簡単に監視および調整できます。これにより、エッチングプロセスの精度がさらに向上し、サプライヤーはより速い納期を実行することができます。ULVAC Enviroシステムは高度にカスタマイズ可能で、ユーザーはスパッタリングや彫刻などのさまざまな特殊なエッチング処理を追加することができます。また、パッシベーション、酸化、アニールなど、さまざまなエッチング加工にも使用できます。全体的に、Enviroは優れたエッチング性能を提供する強力なエッチング/アッシャーユニットです。カスタマイズが容易で、高度なプロセス監視を提供し、より高い精度と迅速な納期を保証します。この機械を使用することにより、メーカーは製品が必要な基準を満たしていることを確認することができ、生産歩留まりが向上し、顧客満足度が向上します。