中古 ULVAC Enviro II #9272299 を販売中

ULVAC Enviro IIは、株式会社アルバック・テクノロジーズが開発した最先端の高性能エッチング/アッシング装置です。ULVAE Enviro IIは、精密で均一なエッチング、アッシングまたは結晶化を必要とする半導体産業や材料科学の用途に最適です。ULVAC Enviro IIは、幅広いプロセス機能を備えたシングルチャンバーエッチング/アッシングシステムです。高度なリモートプロセスコントロールユニットを備えており、手動操作と自動操作の両方を可能にします。この機械は、不活性ガスからエチャントまで、幅広いプロセスガス内で動作します。それに完全特色にされた閉鎖ループ温度および圧力制御があり、均一および反復可能なプロセス条件を作り出します。Enviro IIは、最も厳しい要件を満たすために温度、圧力、大気条件の広い範囲で動作することができます。このツールは、クリーンで汚染のない作業環境を提供するように設計されており、大量生産を可能にする自動サンプルのロードとアンロード資産を備えています。このモデルは、高精度の圧力と温度検出と制御を備えており、迅速かつ正確なプロセス監視を保証します。ULVAC Enviro IIは、強力な高速ターボ分子ポンプとロータリーバルブポンピングシステム、高速応答および長寿命の電気真空バルブを備えた強力な真空装置を備えています。このユニットは、フィルムの堆積、コンフォーマルフィルムの堆積、アッシングとエッチング、エピタキシャル成長、アニーリング、およびデータストレージに最適です。Enviro IIはハイスループット生産のために構築されています。ULVACの高度なマルチバッチ制御技術、改良されたプロセスガス混合により、セットアップ時間がさらに短縮されます。GAT-Advanceマルチポイント解析により、HiSpec IIIデータロギングと監視機能を備えた生産対応機で、リアルタイムデータ監視による優れたプロセス制御機能を備えています。ULVAC Enviro IIは、最高レベルの精度、再現性、均一性を実現することを目指し、重要なエッチングおよびアッシングプロセスに最適な絶妙なツールです。