中古 ULVAC Enviro II #293813794 を販売中
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ULVAC Enviro IIは、プラズマエッチング、アッシング、洗浄などのさまざまな用途に使用されるエッチャー/アッシャーです。垂直にロードされた包括的なエッチャー/アッシャーで、さまざまな自動機能と真空機器構成を備えています。機械は産業規模の生産のために設計されていますが、また必要に応じて小規模操作のために使用することができます。フレキシブル基板搬送システムを採用し、シングルピース基板とマルチピース基板の様々な素材面の加工が可能です。このユニットは、幅広いエッチングおよび灰処理をサポートすることができ、電圧、温度、濃度、持続時間などのパラメータを正確に制御することができます。さらに、完全に自動化されたウェーハ転送機構により、高い信頼性と再現性が保証されます。Enviro IIには、あらゆるタイプのエッチングおよびアッシング用途に適した洗練された真空機が含まれています。プロセスの均一性と再現性を最大限に高め、同時にプロセス制御と監視機能を提供します。この機械の真空ツールは、低圧ポンプとプログラムされた高真空バルブを組み合わせて、より高いスループットとプロセスの均一性を実現します。アセットはアプリケーションに合わせてカスタマイズでき、微粒子を最小限に抑え、一貫したプロセス環境を維持するように設計されています。ULVAC Enviro IIは、特殊エッチングおよび乾燥プロセスアプリケーションで使用するための高度なクーラントモデルも備えています。ヒーター、クーラー、可変周波数駆動（VFD）などのコンポーネントは、流体流量と冷却速度を最大化してプロセスの効率と信頼性を向上させるように設計されています。Enviro IIは様々な基板加工のニーズに合わせてカスタマイズ可能です。オープンアーキテクチャを備えており、迅速なメンテナンスと修理のために、すべてのコンポーネントに簡単にアクセスできる技術者を提供します。さらに、このマシンには、インタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた統合プロセスコントローラと診断ソフトウェアパッケージが含まれています。このタイプのソフトウェアパッケージにより、エッチングおよびアッシングプロセスの設定、制御、診断が容易になります。要約すると、ULVAC Enviro IIは、大規模および小規模生産用に設計された自動エッチャー洗浄装置です。これは、プロセス効率と信頼性の向上のためにアプリケーションに合わせて調整された高度な真空、クーラント、コントローラ技術を備えています。システムはオープンアーキテクチャで、メンテナンスや診断に簡単にアクセスでき、セットアップと操作のための直感的なユーザーインターフェイスを備えています。
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