中古 ULVAC Enviro I #9014612 を販売中

ULVAC Enviro Iは、金属、合金、および時には半導体材料の高速エッチングおよびパターニング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。高度なコントローラと強力な電動ステージを備えたコンパクトでユーザーフレンドリーな機器で、高速でターゲット材料の正確なエッチングを可能にします。このシステムはモジュラー設計を採用しており、さまざまなプロセスパラメータを簡単に維持および調整できます。Enviro Iには、大きなターゲット領域の均一なエッチングを一貫したレートで提供する高度な三相スピナーが装備されています。10 x 10cmのプロセスチャンバーは、最高級の機器部品であっても最大限のエビデンスを保証し、低圧リミットスイッチは最適な安全性を保証します。また、500°Cまでの急熱を可能にする高温抵抗ヒーターと、250 Torrまでのエッチングに最適な高圧抵抗ヒーターを内蔵しています。さらに、ULVAC Enviro Iには、自動圧力制御と真空排気、プラズマエッチング、基板洗浄、プリエッチング、深度プロファイリング機能が搭載されています。Enviro Iの直感的なPCベースのコントロールにより、すべての機能やプログラミングに簡単にアクセスでき、ユーザーは即座にプロセス設定を調整できます。また、インテリジェントなオートモードを備えており、チャンバーの雰囲気と圧力を段階的に調整し、エッチングまたはパターニングタスクごとに自動的にターゲット圧力に下げます。オールインワンツールは、柔軟性と利便性を提供し、ウェーハのパターン作成、マスクの記憶、金属部品のエッチングに最適です。