中古 ULVAC CSE-1210 #9055176 を販売中

ULVAC CSE-1210は、高度なエッチング/アッシュ機器です。汎用性が高く、さまざまなエッチングやアッシング用途に使用でき、幅広い結果を得ることができます。このシステムは、マルチステッププログラマブルプロセスコントローラなどの高度な機能を使用しており、精密なエッチングパラメータを可能にします。その設計はまたそれに優秀な反復性および正確さを与えます。CSE-1210には20リットルの真空チャンバーがあり、オブジェクトの効率的なカバレッジを提供し、エッチングプロセスの正確な制御を保証します。このチャンバーは最大350°Cまで加熱され、最も敏感な材料でも高温エッチングまたはアッシングが可能です。チャンバー内部の圧力を正確なマノメーターで監視し、安定したエッチング環境を確保します。ULVAC CSE-1210には4軸ロボットアームが装備されており、チャンバー内の物体を正確に制御できます。アームは3D座標に達するようにプログラムすることができ、これまで以上に詳細なオブジェクトをエッチングできます。このユニットは、操作プロセスを簡素化し、分配精度を最適化する直感的なタッチスクリーンも備えています。ロボットアームに加えて、CSE-1210はまた、1時間未満で10-6 Torrの圧力にチャンバーを避難ターボポンプを装備しています。拡散ポンプを使用すると、チャンバー内で安定したバックグラウンド圧力を得ることができ、エッチングプロセスを開始するときに粗いバルブによって迅速な避難が可能になります。ULVAC CSE-1210は、多種多様なガスや液体と互換性があり、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。排気フィルター、冷却装置、リモコン付きシャッターなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。これらのコンポーネントはすべて、機械を安全で使いやすいように設計されています。CSE-1210は安全で、精密な方法でさまざまな結果を達成できる非常に有能なエッチャー/asherです。その4軸ロボットアーム、ターボポンプ、直感的なタッチスクリーンは、さまざまなアプリケーションに最適です。