中古 ULVAC CSE-1100 #9055175 を販売中

ULVAC CSE-1100は、3次元マイクロストラクチャーの迅速な生産のために設計された高解像度エッチャー/アッシャーです。スピンエッチング/アッシュ技術は、MEMSや半導体基板のエッチング、マイクロ流体およびナノ構造の製造、厚膜微小回路の形成など、さまざまな用途で使用できます。CSE-1100は、ウェットとドライエッチング/アッシングの両方を利用した自動エッチング/アッシング装置です。ウェットエッチング機能により、アルミニウム、シリコン、ゲルマニウムなど、さまざまな基板のエッチングが可能です。アルバックCSE-1100のドライエッチング/アッシング機能により、高精度かつ再現性のある立体構造の形成が可能です。CSE-1100は2つの独立して制御されたエッチング/アッシングシステムが装備されています。一次システムは真空チャンバーとエッチング/アッシング陰極で構成され、二次ユニットはレーザー光源と回転アッシングディスクで構成されています。エッチング/アッシング周期中、基板は真空チャンバー内の陰極と陽極の間に配置されます。レーザー光源は基板を照らし、エッチング/アッシング処理を開始するために必要なエネルギーを提供します。ディスクが回転すると、不要な材料を徐々に取り除き、目的の微細構造を形成します。ULVAC CSE-1100は200cm/hまでのエッチング/アッシング速度が可能です。さらに、デジタル精密モータとセンサは高精度で再現性があり、欠陥の少ない複雑な3次元構造の製造が可能です。CSE-1100のオンボードコントローラは、エッチング/アッシングプロセスの一貫性を確保し、制御された再現性の高いマシンを提供します。また、ULVAC CSE-1100には真空センサーが内蔵されており、真空チャンバ内部の圧力変化を監視することでエッチング/アッシング処理を最適化することができます。全体として、CSE-1100は効率的で信頼性の高い方法を提供し、3次元マイクロストラクチャーを生成します。高精度のエッチング/アッシングツールにより、欠陥を最小限に抑え、一貫した結果を得ることができます。さらに、自動エッチング/アッシング処理とオンボード真空センサーにより、信頼性の高い再現性の高いエッチング/アッシング資産を提供します。