中古 ULVAC CSE-1100 #9055174 を販売中

ULVAC CSE-1100は、半導体業界において要求の厳しいアプリケーション向けの高度なエッチャー/アッシャーシステムです。このシステムは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウムなど、さまざまな材料で微細な構造エッチングを行うことができます。CSE-1100は150mmシングルウェーハロードロックチャンバーと300mmウェーハ容量をアップグレードし、大量生産に適しています。ULVAC CSE-1100の中核はプラズマ源です。この強力なプラズマ源は、生産性を高めるための独自の長寿命設計を備えています。このソースには、エッチング性能を最適化するためにチャンバー圧力とガス流量を正確に調整できるガスバランスコントローラが内蔵されています。CSE-1100のult-high-speedプロセッサと大容量メモリは、エッチングアプリケーション用に設計されており、複雑なエッチングプロセスを容易に処理できます。プロセッサにはグラフエディタも内蔵されており、各アプリケーションのレシピを簡単に作成および操作できます。インターフェースボックスは、コントローラ、プロセスモニタ、安全システムなど、ULVAC CSE-1100の複数システムの制御と監視を提供します。また、リモート操作のためのネットワークまたはPCへの接続のためのRS485インターフェイスが含まれています。CSE-1100の高度な設計には、プロセス制御と最適化のための幅広い機能を含む洗練されたソフトウェアパッケージも含まれています。革新的なエッチングレシピとファジーロジック制御により、プロセスパラメータのバリエーションを最小限に抑えた正確なエッチング結果が得られます。アルバックCSE-1100は、高度な半導体エッチングのためのスループットと生産品質の両方を向上させるために設計された多数の機能を備えた強力なエッチングシステムです。その高性能プラズマソース、インテリジェントプロセッサ、および洗練されたソフトウェアは、複雑な構造をエッチングするための理想的なツールです。