中古 ULVAC CS-300R #293607110 を販売中

ULVAC CS-300Rは、シリコンや金属など様々な材料を素早く、正確に、きれいに処理するために設計されたエッチング/アッシング装置です。半導体産業、自動車、家電、電源などの分野でのMEM（マイクロエレクトロメカニカルシステム）の製造に最適です。この機械は、プロセスチャンバー、真空チャンバ、および排気ガスプロセッサの冷却ユニットで構成されています。CS-300Rのプロセス部屋はステンレス鋼から組み立てられ、高性能のエッチングおよびashingプロセスがきれいにそして正確に行われることを保障します。チャンバーは簡単かつ迅速にパージ、メンテナンス、交換できるように設計されており、再現性のある信頼性の高いプロセスに最適です。ULVAC CS-300R真空システムは、2段ポンピングユニットを使用して、チャンバー内で最大2。25 x 10-3 Paの圧力を実現し、より大きな基板でも精密で均一なエッチングとアッシング処理を可能にします。この機械はまたより速いポンピングダウンタイムおよびより高いプロセス純度を可能にします。CS-300Rには、温度範囲、流量、圧力など幅広いパラメータで処理する機能があります。この柔軟性により、さまざまなエッチングおよびアッシング作業に対応できます。また、高度な流体力学エッチング技術により、エッチング期間を効果的に短縮し、廃棄物を最小限に抑えることができます。これらの機能に加えて、ULVAC CS-300Rはアラームや自動シャットダウンなどの高度な安全機能と統合されており、プロセスが安全に進行するようにしています。さらに、このツールにはレシピ管理アセットが内蔵されており、ユーザーは繰り返し可能で正確なエッチングとアッシング処理のためのレシピを簡単に作成、保存、修正することができます。全体として、CS-300Rは正確な製造要件を満たすエッチングおよびアッシングソリューションを提供します。その柔軟性と制御により、精密な温度、圧力、および時間のある幅広い材料に対応し、正確なエッチングとアッシングの結果を得ることができます。半導体、自動車、家電、電源業界での使用に最適です。