中古 TRION Titan #293670453 を販売中

TRION Titanは、幅広い材料に対応する専用のディープリアクティブイオンエッチャー/アッシャーです。エッチングとアッシング用の2つの電気絶縁チャンバーを備えたユニークな設計で、サンプル汚染を排除し、高い生産性、コスト効率の高いプロセスを可能にします。優れたプロファイル特性と高いスループットにより、精密なエッチングとアッシングを実現します。数アングストロームから数ミクロンの厚さまでのフィルムをエッチングしてアッシングすることができます。エッチングプロセスは、エッチングチャンバーに統合されたポストに1〜1000ワットの電力を供給するRF電源によって駆動されます。ポストはRFエネルギーをイオンに変換し、試料に向かって加速します。ポストは高さで調整可能で、RF周波数と着信イオンのマッチングを可能にします。エッチングプロセスは、エッチングレートを増加させ、エッチング深度の均一性を向上させるエッチングガスの注入によって拡張されます。このシステムは、ドライエッチング、ウェットエッチング、および指向性エッチングに使用できます。Ashingプロセスは、Ashing Chamberに統合されたポストに最大1000ボルトの電力を供給するDC電源によって駆動されます。その後、ポストはDCエネルギーをイオンに変換し、試料に向かって加速されます。これらのイオンは、サンプルから材料の最上層を除去します。エッチングと同様に、ashingガスの注入によってashingプロセスを増強することができ、再びashing率と結果として生じる深さの均一性を増加させる。Titanには、各サンプルの正確なエッチングとアッシングを保証するために、プロセスモニタリングと計測ハードウェアが完全にインストールされています。このユニットは、エッチングおよびアッシングプロセス中に現場のエンドポイント検出を監視することができ、エッチングおよびアッシングプロファイルを正確に制御できます。さらに、レーザー干渉計と光学プロフィロメータを使用して、得られたプロファイルを測定することができます。TRION Titanは、エッチングとアッシングの両方に特化した独自の設計により、アスペクト比の高いMEMS、ナノパターニング、マイクロ流体など、幅広い材料の研究および製造加工に最適なツールです。