中古 TRION Phantom III #189297 を販売中

TRION Phantom IIIは、精密かつ効率的な材料加工を提供するように設計されたエッチャーおよびアッシャーです。半導体デバイスの製造、薄膜構造の製造、精密部品の製造など、さまざまな分野の用途に適しています。最大ウエハサイズは8インチで、さまざまなガスでエッチングすることができます。内蔵の診断機能により、簡単なトラブルシューティングとメンテナンスが可能です。また、プラントの高度な制御システムにより、プロセスの安定性と再現性が保証されます。Phantom IIIはコンポーネントスタイルのアーキテクチャを使用して構築されます。これにより、単一のウェーハ処理やバッチ処理など、特定のアプリケーションのコンポーネントをインストールできます。エッチングとアッシングは、水平方向または垂直方向のいずれかで行われ、より高い生産率とより正確な結果を得ることができます。使用される特定の部品には、耐食性合金、石英チューブおよび陽極、陽極沈着用チタン系材料、および各種絶縁体およびコンデンサが含まれます。このユニットにはリモートタッチスクリーンが装備されており、エッチングとアッシングのプロセスをリアルタイムで監視できます。このモニタリングには、温度、圧力、エッチング時間が含まれます。また、電源設定、プラズマガス圧力、プロセス変数をより高い精度で調整できます。TRION Phantom IIIのエッチング速度は、エッチング室から有害な粒子を除去するエッチング粒子抽出システムや、不要なエッチング時間を短縮するプロセス時間の最適化など、1パス当たり約1エッチングです。プラズマ源を使用してエッチングキネティクスを変更することもでき、エッチング面の均一性を向上させます。Phantom IIIは比較的メンテナンスフリーに設計されており、ほとんどの部品は社内で交換または修理が可能です。また、ロードロック、コンベア、真空濾過ユニットなど、他の標準的な加工装置と組み合わせて使用するように設計されています。結論として、TRION Phantom IIIは、高信頼性で効率的なエッチャーおよびアッシャーであり、正確で困難なアプリケーションに適しています。これは、リモート監視やプロセス最適化などの高度な機能の範囲を提供しています、より従来のエッチングとアッシング機能と一緒に。これにより、半導体製造、薄膜構造製造、精密部品加工など、さまざまな分野での使用に最適です。