中古 TRION Phantom II #9308217 を販売中

TRION Phantom IIは、学術、産業、政府研究センターのエッチングとアッシングの両方に適した高精度プラズマエッチャー/アッシャーです。自動化された3段階のプロセスを備えており、高い精度とスピードでさまざまな材料をエッチングまたはアッシングできます。ファントムIIは電源と真空チャンバーから始まります。真空チャンバー内では、フッ素、酸素、アルゴンなどのさまざまなガスが高電圧源を使用して点火されます。この活性化されたプラズマは、材料がワークホルダーに入ると表面材料を分解して除去し、エッチングまたはアッシングのために加工領域に配置されます。TRION Phantom IIには、高度なインテリジェントモーションモジュールと高速ステアリング装置が装備されています。モーションモジュールは、ウェーハホルダーの動作、処理速度、処理領域のサイズを制御します。ファストステアリングシステムは、プラズマをウェハの望ましい表面積に導き、正確で均一なエッチングまたはアッシングを可能にします。Phantom IIには、完全に統合されたユーザーフレンドリーなオペレーティングユニットと、材料とエッチング/アッシングプロトコルの包括的なライブラリが装備されています。エッチングレート、エッチングリードイン、エッチングサンプリング、ターゲットエッチングレート、最大エッチングレートのパラメータが含まれます。また、ユーザーとプラズマチャンバーの両方を保護するためのさまざまな安全プロトコルも提供しています。TRION Phantom IIのエッチング技術は、従来のプラズマエッチング技術よりも高品質で優れた結果をもたらします。それはまた非常に適用範囲が広く、異なったサイズの材料を処理し、エッチングの速度、目標区域を制御し、さまざまな材料を使用するのに使用することができます。全体的に、ファントムIIは、優れた精度、速度、柔軟性を提供する強力で高度なエッチャー/アッシャーマシンです。使いやすく、幅広い素材に適しています。その優れた成果は、研究および産業用途において非常に価値があります。