中古 TRION Phantom II #9069756 を販売中

TRION Phantom IIは、精密かつ効率的なウェーハやデバイス処理を可能にするように設計された高性能エッチャー/アッシャーです。この強力なエッチャー/アッシャーは、バックグラウンドガスを備えた高密度プラズマを使用して、制御されたエッチプロファイルを作成します。塩素、フッ素、酸素の原料ガスを利用して、マイクロエレクトロニクスパッケージ、ハイテクパーツ、mems/nano、関連機器など、さまざまな用途で垂直壁や精密な表面エッチングを作成することができます。ファントムIIは、高度な3次元モーションコントロールを備えた3軸ロボットリニアモーターシステムを搭載し、エッチングの自動化を実現しています。このユニットは、シングルウェーハからロングウェーハまでの最高速度、精度、再現性を提供します。ロバストなロボットマシンは、+/-0。5mmのステップ精度と高い加速と減速を備えています。このツールの生産性を高めるために、TRION Phantom IIは最大20インチの直径を測定するウェーハ機能を備えています。最大8つのプロセスモジュールを内外に配置でき、プロセスチャンバーに最大6つのプロセスモジュールと2つの外部モジュールを備えたデュアルサイド処理が可能です。また、効率的なガス制御技術により、複数のエッチングレシピまたはプロセスを保存してリコールすることができ、ウェーハプロセスサイクルを容易かつ再現可能にします。オンボードソフトウェア制御により、プロセス中のレシピパラメータをリアルタイムに調整でき、特定の製品設計のエッチング特性を微調整できます。ユーザーの安全性を考慮し、粒子の発生と排出を最小限に抑えるために設計されたグローバルエキゾーストフィルトレーションモデルを使用しています。装置には、エンクロージャ内のわずかなガス濃度を検出できる統合リーク検出システムがあります。ソフトウェアユニットの存在は、プロセスの自動化のためのステップを可能にするだけでなく、リアルタイムウェハの状態、エッチング速度、ベッド温度などの情報を提供するデータ収集のためのさまざまなツールを提供します。これにより、プロセス中のパラメータの理解が深まり、生産時間の短縮に役立ちます。ファントムIIは、精密かつ効率的なウェーハ処理を可能にするように設計された高性能エッチャー/アッシャーです。ステッピング精度の3軸ロボットモーションコントロールマシンを採用し、効率的なガス制御アセット、最大直径20インチのウエハハンドリング機能、統合排気ろ過や漏れ検出システムなどの安全機能を備えています。データ収集機能により、生産時間の短縮と結果の向上に役立つエッチングプロセスの理解を深めることができます。