中古 TRION Oracle #193648 を販売中
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ID: 193648
Plasma etch and deposition system
VARIAN Turbo-V 300 ICE MacroTorr Turbo pump
VARIAN MoniTorr Transducer and controller
MKS Type 153 Control valve
Gas cabinets with control valves
Computer with controller cards.
TRION Oracleは、半導体加工に特化したエッチャー/アッシャーです。コンパクトな設計と統合されたユーザーインターフェイスにより、製造および組立プロセスに最適なソリューションです。エッチャー/アッシャーは、複雑な構造上の極めて薄いフィルムであっても、エッチング/アッシュサイクルの汎用性と速度を考慮して設計されています。この装置は、信頼性の高い結果を保証するために、微細な光学制御と高い処理温度を提供します。オラクルエッチャー/アッシャーは、シリコン、ヒ素ガリウム、サファイアなどの幅広い材料および基板を処理するためのさまざまな機能と機能を提供します。様々なフォトリソグラフィーのパターンで薄膜をエッチングすることができます。このシステムには、エッチング/アッシュサイクルプロセスを正確に制御するための微調整可能な光学ユニットが装備されています。エッチャー/アッシャーは、エッチングとashngの間に均一な加熱を保証する特殊な温度制御機械により、さまざまな敏感な構造に対応できます。さらに、このツールには独自のエアナイフ冷却アセットと低温冷却モデルがあり、薄膜や複雑な構造の均一な温度を確保し、高解像度の圧力制御装置を備えており、精密で繰り返し可能なエッチング処理を維持します。また、基板や素材のエッチング率も異なるため、薄膜の微細エッチングが可能です。TRION Oracleの柔軟性とモジュール性により、さまざまなアプリケーションにカスタマイズできます。エッチャー/アッシャーはコンパクトで使いやすく、機器をオフラインにすることなく、プロセスを素早くセットアップできます。高度な診断、Web対応サポート、インテリジェントな切削ツールにより、処理をさらに合理化できます。Oracleの直感的なユーザーインターフェイスは、最大のパフォーマンスと使いやすさを目的に設計されており、オペレータはエッチング深さ、エッチング時間、サイクルタイムなどの重要なパラメータを迅速に制御できます。さらに、エッチャー/アッシャーには、複雑な構造をエッチングおよびアニールするプロセスを最適化する高度なソフトウェアが搭載されており、画質と結果をリアルタイムで監視できます。全体として、TRION Oracleは効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、幅広い処理タスクでスムーズで正確な結果を提供します。半導体製造および組立工程に関連する製造および研究に最適なユニットは、ユーザーが一貫した製品品質と高い歩留まりを達成するのに役立ちます。
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