中古 TRION Minilock Orion II #9195271 を販売中
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ID: 9195271
ヴィンテージ: 2001
PECVD Load lock triode system
(6) MFC: CF4, O2, TEOS, DES, NH3 and N2 for purge
Automatic purge (Gas cabinet)
Ceramic ring focuses plasma
Optimizing power utilization
Bottom and top electrodes are water cooled
Chamber equipped with: (2) Circular quartz viewing windows
Primary chamber material: Anodized aluminum
Components: Ceramic / Quartz
Computer has been replaced
Bottom electrode temperature: Resistive heater / IR Thermocouple
Upper electrode
Shower head gas distribution
Substrate loading system: Robotic / Manual
Ceramic upper chamber ring
Bottom chamber
AC Distribution / EMO
Gas cabinet: Mass flow controllers
Bottom electrode:
ADVANCED ENERGY Variable: 300-500 Watts (350-460 kHz)
AE RFPP LF-5 RF Power supply (Low frequency: 50-460 KHz)
Top electrode:
Triode source
ADVANCED ENERGY AE RFG 600 Watts
For film stress control capability 3001: 13.56 MHz
Includes:
EDWARDS QDP40 Drystar dry backing vacuum pump 230 VAC, 3 Phase pump
OSAKA TS443 Helical grooved turbo pump & controller
MKS 153 Throttle valve & controller
2001 vintage.
TRION Minilock Orion IIは、集積回路、チップパッケージ、その他の電子部品の製造に使用される高性能エッチャー/アッシャーです。コンパクトな設計と汎用性の高い機能により、幅広い用途に適した効率的で精密な材料加工が可能です。Minilock Orion IIは最高速度2,500rpmで最大5層の材料を同時に処理し、最適なスループットを実現します。TRION Minilock Orion IIの特徴は、高精度の運動装置、包括的な安全機能、可変速度、および高速エッチングのためのオールメタルチャンバーなどです。また、プログラミングを簡素化し、正確で反復可能な結果を保証するための材料認識ソフトウェアも内蔵しています。さらに柔軟性を高めるために、Minilock Orion IIは拡張チャンバー、統合封じ込めリング、自動マテリアルハンドリングシステムなどの追加アクセサリでカスタマイズできます。TRION Minilock Orion IIは、デュアルステージフィードシステムでサポートされている低メンテナンスのダイレクトドライブモーターを搭載しています。これにより、材料の正確な位置決めとエッチング時の精度が向上します。調整可能なノズルと手動フォーカスコントロールユニットを使用して正確な位置に調整できます。その温度範囲は微細エッチングのために-40°Cまで低い温度に調整することができ、水冷装置はデバイスの信頼性を保証します。Minilock Orion IIは、比類のない信頼性と柔軟性を提供するように設計されており、他の機器との統合が容易です。また、エッチング処理中に正確なデータをユーザーに提供するための広範な監視機能を備えています。このエッチャー/アッシャーの高度な安全機能は、生産および研究設定の幅広い用途に適しています。
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