中古 TRION Minilock II #9389392 を販売中
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ID: 9389392
Reactive Ion Etcher (RIE)
ADVANCE ENERGY RFX 600A RF Plasma generator
MKS 153 Control valve
VAT 02110-BH24-0001/0039 Rectangular gate valve
Gas cabinet
Load lock
(6) UNIT INSTRUMENTS Mass flow controller:
(4) UFC-1800 (Gases: N2, (2) 100cc, and (2) 250cc)
(2) UFC-1660 (100cc BCl3, and 100cc CL2).
TRION Minilock IIは、半導体、マイクロエレクトロニクス、電子産業における高精度エッチングおよびアッシング用途に最適な高度なエッチャー/アッシャーです。3段階の選択可能な強制空気エッチング技術を使用して、正確で繰り返し可能なエッチング/灰の深さ制御を保証します。エッチングされた表面と灰の表面には、より高い再現性を提供する均一な特性が残されています。この装置は、高性能金属強化ハウジングとファンユニットを一体化し、効率的な放熱を実現し、エッチングおよびアッシュ材の熱分解を最小限に抑えます。エッチャー/アッシャーには、チルプレート、メッシュフィルター、クーラントタンク、パージカバーなど、実行されるプロセスに応じて、いくつかの内部オプションを装備できます。また、温度調整機能が内蔵されたマイクロプロセッサコントローラも搭載されており、さまざまな種類のエッチングと燃焼のためにいくつかの予め設定された温度ポイントから選択できます。エッチャー/アッシャーに内蔵された温度センサーにより、熱処理のリアルタイム監視も可能です。このシステムは、エッチング/燃焼プロセス全体で均一な温度を維持するのに役立つ自動温度回復機能を備えています。この機能を使用すると、メディアの焼戻しを減らすことができ、過剰なエッチングや過熱がなく、より良い結果が得られます。このユニットには、さまざまなエッチングとアッシングサイクルに使用できる統合されたタイマーマシンも含まれており、ユーザーは各サイクルの特定の開始時間と停止時間を設定できます。これにより、エッチング/燃焼プロセスを正確に制御できます。このツールには、均一なエッチング/燃焼に最適なガス圧力を維持するin-situガスフローレギュレータも装備されています。これは、ガスの過剰加圧によって引き起こされる可能性のある損傷を軽減するのに役立ちます。アセットにはリモートコントロールモデルを装備することもでき、ユーザーは遠隔地からエッチング/灰プロセスを開始、停止、および制御することができます。非常用電源シャットダウンボタン、過熱センサー、ラッチスタイルのソレノイドバルブ、およびすべての安全インターロックなどの堅牢な安全機能を備えています。Minilock IIは高精度で精密なエッチング/バーニングを提供し、商業および産業用途に最適なエッチャー/アッシャーです。その金属強化ハウジング、in-situガスフローレギュレータ、熱規制、統合タイマー、および堅牢な安全機能により、均一で精密な表面エッチング/出版を必要とするアプリケーションに最適な信頼性の高い機器です。
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