中古 TRION 2340 #9058313 を販売中

ID: 9058313
ヴィンテージ: 2002
Deposition system 115 V, 60 Hz, 6.3 A 2002 vintage.
TRION 2340はエッチャー/アッシャーで、従来のエッチャーと比較して優れたエッチングおよびアッシング結果を提供するように設計されています。このツールは、ポリイミド、半導体、フォトマスク、およびその他の有機金属層などの多くの種類の材料のダイアタッチとパッシベーションに特に適しています。2340は、正確な制御と均一なマイクロエッチング速度で効率的なエッチングとアッシングサイクルを提供するデュアルゾーン設計を備えています。上部チャンバーには、プラズマを集中させ、基板全体の均一性を確保する高電圧バイアスアンテナが装備されています。下部チャンバーは、基板表面の汚染物質を効率的に除去し、ポリイミドやその他の複雑な有機物に化学的アッシングを提供するように設計されています。TRION 2340は、エッチングとアッシングサイクルの両方を監視および微調整できる高度な制御システムを備えています。電源は、最高レベルの材料除去を確実にするために、積極的なエッチングとアッシングのために調整することができます。温度およびガスの流れはまたエッチングかashing特徴の数そしてサイズを制御するのを助けるように調節可能です。2340の技術の設計はそれを真空および不活性大気の両方で作動させることができるようにします。これにより、エッチング/アッシングサイクル全体を厳密に制御し、基板の均一性を向上させることができます。さらに、粒子発生を低減し、プロセスの安定性を向上させるために最適化されたプラズマ源の特性が含まれています。TRION 2340は、エッチングまたはアッシングプロセスの包括的なビューをオペレータに提供するタッチスクリーンデジタルディスプレイを搭載しています。このディスプレイを使用すると、プロセス要件に応じてガスの流れ、温度、電圧などのパラメータを簡単に管理、監視、および調整できます。提供される情報には、エッチングプロファイルとプロセス設定情報が含まれており、エッチングとアッシングプロセスを簡単に追跡および制御できます。2340は非常に信頼性が高く、効率的なエッチャー/アッシャーです。その高度な設計、洗練された制御システム、包括的なデジタルディスプレイは、さまざまな材料のエッチングとアッシングプロセスに最適です。
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