中古 TRIKON Sigma #293652532 を販売中
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ID: 293652532
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6"
(2) PVD Chambers
DC Chamber
RF Chamber
(2) CTI-CRYOGENICS OB-8F Cryo pumps
(2) ENI ACG 3 Generators
ENI ACG 10B Generator
CTI-CRYOGENICS Compressor
PFC Module
Racks
Cables
Robot
Single slice cassette lock.
TRIKON SigmaはTRIKON Instruments、 Inc。が設計・製造しているエッチャー/アッシャーです。この強力で正確な機器は、金属、セラミックス、プラスチックなどのさまざまな材料に精密エッチングされたつぼ型の穴を作成するために、化学エッチングまたはアッシュを使用します。高度なエッチャー/ashierとして、それは正確に掘削し、複雑な形状だけでなく、基板の広い範囲の正確な深さを形成することができます。シグマはエッチングとアッシュをより簡単かつ効率的にする多くの機能を提供しています。インテリジェントコントロールにより、エッチング速度とアッシュ速度の両方を調整でき、詳細で高品質な結果を得ることができます。また、高精度のマルチゾーンオートフォーカスシステムと、スムーズな操作のための高信頼性セレーユニットを備えています。統合された温度制御によって、あなたの実験が一貫したままになることを信頼できます。etcher/ashierには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があり、オペレータはメニューを簡単にナビゲートして設定を変更できます。また、高度なプロセス制御機能を備えており、ユーザーはリアルタイムでエッチングまたはアッシングプロセスを監視および制御できます。プロセスの時間と温度の両方を正確に制御するために使用できます。TRIKON Sigmaは、回転ステージ、XYZステージ、サンプルホルダーなど、さまざまな特殊ツールも提供しています。XYZステージは、オペレータが簡単にサンプルの位置を調整することができますが、回転ステージは安定したエッチングまたはアッシュ深さまたは角度を保証します。さらに、サンプルホルダーにより、サンプルの切り替えと交換が可能で、セットアップ時間を最小限に抑えます。高度な安全マシンは内蔵されており、オプションの外部追加として利用できます。このツールは、化学的エッチングまたはアッシュ処理を行うときに非常に危険な化学的および物理的な危険に対して監視します。それはあらゆる危険な状態に対して検出し、警告するためのセンサーを含んでいます。結論として、Sigmaは信頼性の高い正確なエッチングまたはアッシングを精度と一貫性で提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。直感的な制御と本質的な安全システムにより、ユーザーは自信を持って高品質の結果を迅速かつ効率的に生成することができます。
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