中古 TRIKON Sigma FxP #9253626 を販売中
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販売された
ID: 9253626
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Metal deposition systems
Platen HSE MK2, 8" (P/N: TR-133072/B)
TI-Heater assy platen, 8" (P/N: 188855)
No Pumps / Chiller
Configuration:
Hot sputter etch chamber: Station 2 (DepE-HSE)
Station 0: BROOKS M800
Station 1: BROOKS VCE
Station 2: Hot sputter etch (Rack)
Station 3: Hot sputter etch (Rack)
Station 4: Deposition (Rack) TTN
Station 5: Deposition (Rack) TTN
Station 6: Deposition (Rack) ALU
Station 8: BROOKS VCE
Station 9: BROOKS Inliner
Station 10: BROOKS Top cooler
Station 11: BROOKS Buffer
(2) Load locks:
Station 1: VCEA
Station 8: VCEB
(3) Deposition chambers:
Station 3: (DepC- HU platen aluminium)
Station 4: (DepB - HiFill TTN)
Station 5: (DepA - HiFill TTN)
Pre heat chamber: Station 7
Orienter: Station 9 (In front of VCEA)
Top cooler for cooling wafers: Station 10 (In front of VCEB)
LEYBOLD CoolVac 1500 O-Ring sealed
Transport chamber
DC Power supplies for single and double rack
Turbo controller
Main computer
Main AC
RF / DC Power supplies
Chamber AC control
Temperature set point: 20°C
Resistivity set point: > 50 kΩ
Recirculating flow: 20 gpm
Recirculating pressure: 22 psi
BROOKS MAG7 Robot included
Process modules:
DepA
DepB
DepC and DepE
2001 vintage.
TRIKON Sigma FxPは、プラズマエッチングとアッシングのプロセスを正確に制御するために開発されたエッチャーおよびアッシャーです。エッチングからメッキまでの完全に統合された機器を使用して、産業用および研究用エッチャーおよびアッシャー用の強力なツールを提供します。このシステムは、リアクティブイオンエッチング（RIE）、マイクロ波、リアクティブスパッタリング、およびその他のエッチングおよびアッシングプロセスなどのさまざまなプロセスに使用できます。これは、真空チャンバー、マイクロ波発電機、ロボットワークステーション、プラズマ発生器、スパッタ源などのいくつかのコンポーネントで構成されています。このユニットは完全に自動化されており、ユーザーはさまざまなエッチングおよびアッシングアプリケーション用に最適化されたプロセスレシピを作成できます。シグマFxPは、マイクロ波と無線周波数の組み合わせを使用して反応室からプラズマを生成することによって動作します。このプラズマは非常に反応性の高い環境を提供し、エッチングやアッシュ処理に最適です。RIEチャンバーには、石英管、散乱媒体、一次電極、および危険ガス吸収材が含まれています。マイクロ波はマグネトロンから供給され、反応室にエネルギーを送信します。このエネルギーは、石英管の内部でプラズマを生成するために使用されます。チャンバー内のガスは、理想的なエッチングとアッシング条件を達成するために加圧されます。TRIKON Sigma FxPマシンには、異なるエッチングおよびアッシングプロセスを最適化するためのロボットワークステーションも含まれています。これにより、ユーザーは繰り返し可能な結果を得るために自動化されたプロセスをプログラムすることができます。さらに、このツールは反応チャンバへのガスの流れを制御するための自動ガスフロー制御アセットを備えています。全体として、Sigma FxPモデルは、研究と産業の両方で使用されるプロセスのエッチングとアッシングのための効果的なツールです。エッチングとアッシングプロセスに優れた精度を提供し、結果として最適化された結果をもたらします。完全に自動化された装置と自動化されたプロセスプログラミングにより、エッチングとアッシングプロセスを最適化できます。さらに、このシステムは強力なガス流量制御ユニットを備えており、エッチングやアッシングに役立つ環境を提供します。
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